传感器的加工工艺.ppt

传感器的加工工艺;传感器的加工工艺;传感器的加工工艺; 腐蚀工艺 ;湿法腐蚀工艺;湿法腐蚀工艺;干法腐蚀是利用粒子轰击对材料的某些部位进行选择性地剔除的一种工艺方法。 主要采用纯化学作用的等离子腐蚀及纯物理作用的离子腐蚀或具有物理、化学作用的腐蚀方法，是利用气相刻蚀剂与被刻蚀的样品表面接触而实现的刻蚀技术。 当与被腐蚀物接触时，就发生化学反应生成挥发性物质，达到腐蚀目的。 ;表面牺牲层技术;表面牺牲层技术;薄膜工艺;化学气相沉积 ;真空蒸镀 ;溅射成膜工艺 ;溅??成膜工艺 ;光刻技术 ;深紫外光刻 ;电子束光刻 ;X射线光刻 ;压印光刻 ;离子注入技术;离子注入技术;LIGA技术 ;辅助工艺;封装技术;封装层次结构;质量控制;典型材料的加工工艺;典型材料的加工工艺;典型材料的加工工艺;谢谢大家！