《薄膜材料与器件》教学大纲.docVIP

薄膜材料与器件课程教学大纲 （总学时数：48，学分数：3） 一、课程的性质、目的和任务 薄膜材料与器件是新能源科学工程专业的专业必修课。薄膜技术在工业上有着广泛的应用，薄膜材料在新材料技术领域中占有极其重要的地位。在新能源材料与器件领域中，薄膜化是未来发展区趋势。 课程的基本任务是比较系统地给学生讲解薄膜的物理化学制备原理与方法，包蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜、化学气相沉积、溶液制膜技术等，同时介绍薄膜的形成，薄膜的结构域缺陷，薄膜的电学性质、力学性质、半导体性质、磁学性质、超导性质。通过本课程的学习使得学生掌握从事新能源、微电子等行业中的材料与器件开发技术领域所必须的基础知识与理论及应用技能。 二、课程基本内容和要求 （一）真空技术基础 了解真空的定义、分类以及气体与蒸汽概念与性质，掌握稀薄气体的性质以及真空在薄膜制备中的作用、气体的流动状态与真空的获得方法、真空的测量方法与测试仪器。（二）薄膜的物理制备工艺学 掌握各种物理制备薄膜技术的基本原理、方法与特性，包括真空镀膜、溅射镀膜、离子束镀膜、分子束外延技术以及脉冲激光沉积技术。 （三）薄膜的化学制备工艺学 掌握各种化学制备薄膜技术的基本原理、方法与特性，包括化学气相沉积、薄膜的化学溶液制备技术、薄膜的软溶液制备技术、超薄有机薄膜的LB制备技术。 （四）薄膜制备中的关键技术 掌握基片的性质、清洗以及超清洁表面多薄膜性能的影响，