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- 2022-04-30 发布于陕西
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feigeoer
1、目的
规范26吋及22S分体炭/炭坩埚生产过程,为生产人员提供技术指导。
2、适用范围
本工艺适用所有26吋及22S分体炭/炭坩埚。
作业程序
3.1.预计生产周期
预沉积(1周期) 化学气相沉积(约2周期) 粗机加 浸渍碳化(约 2周期) 高温处理 精机加 表面涂层(约1周期) 包装运输
3.2.生产流程
3.2.1预制体
预制体采用日本东邦或东丽公司生产的T700系列12K碳纤维束织物网胎和碳布1:1交替铺层,Z向针刺成型。
预制体经检验合格后,进行预沉积。若不
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