MicroLED 产线实验设备清单v0.1_20210528.xlsxVIP

实验设备清单 序号 设备 功能 品牌 配置要求 工艺要求 规格 1 X射线衍射仪XRD 薄膜微观结构分析 Rigaku 品牌型号: Oxford INCA-MAX20 1.最大有效探测面积16mm² 3. 输入计数率500,000cps 4. 采集计数率200,000cps 5. Mn Ka 典型分辨率125eV，C Ka48eV 7. 高真空封装，极大地降低低能X射线的损失 8. SDD脉冲处理器 9. 探头外观尺寸与10mm2探头相同 10. 探头自动伸缩控制 11. 高计数下的谱峰校正 2 可见分光光度计 薄膜材料透过率及反射率 日立 Hitachi 1.测量波长范围：190nm-1750nm 2.波长准确度：±0.1nm 3.吸光度测试范围：-3.8～3.8Abs（U-3900） -5.5～5.5Abs(U-3900H) 4. 基线稳定性：0.0002Abs/h 5.基线平坦度：±0.0003Abs（U-3900?plusmn; 0.0004Abs(U-3900H) （190-850nm ） 6. 噪声水平：±0.00005 满足液体和固体样品测试的广泛要求 1.稳定的光学系统保证精确分析；（U-3900 单光栅单色器，U-3900H双光栅单色器 2. 有190-900nm和190-1750nm两种波长范围供选择，采用PMT检测器，满足高灵敏度的测试要