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基于摩擦车道的高分辨率和大行程微进给机构 ?摘要 根据摩擦传动原理，设计了一个有很长冲程距离和高分辨率行走的微型送料置，这个装置由压电陶瓷元件驱动，并与螺旋轴和空气静压导轨结合起来。通过灵活的四连杆设计了可调预压装置。进行了灵活的联动装置的静态特性分析与有限元分析。微进给装置的传输特点是彻底分析。 关键词：摩擦驱动器，压电驱动器，柔性铰链，有限元? 引言 非球面光学系统已被广泛用于诸如航空，航天产业，国防等。然而，大型面的非球面光学制造面临很大的困难，诸如工作效率低，成本高，增加对工艺设备的要求等问题。为了达到高精度，微位移分辨率的超精密机器必须进一步推进，以补偿在生产线上生产时产生的错误。因此，设计微进给机构已成为关键技术之一。近年来，压电陶瓷是新的微进给机构的发展。它具有体积小，功率大，分辨率高的优点，以及高频率响应等现象，如不加热，不反弹和粘性，因此它被广泛应用于微进给微控制器机制。如今，摩擦传动装置正逐渐被收购和使用。 2．微进给机构的结构和工作原理 该微进给机构是由三部分组成：摩擦传动装置，滚珠丝杆及静压空气轴承指向方式。微进给机构采用压电陶瓷摩擦传动块，扭转了套筒和驱动器滚珠丝杠，从而带动空气轴承导轨实现微进给运动。该结构显示如图 1轴承支架 2摩擦传动装置 3摩擦传动套筒 4静压空气轴承及导轨 5 滚珠丝杠 6 压电陶瓷基地 7压电陶瓷进料装置 图1：（a）送料机构的