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- 2022-05-09 发布于广东
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压阻式固态压力传感器 利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上,工艺一致性好,灵敏度相等,漂移抵消,迟滞、蠕变非常小,动态响应快。 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 低压进气口 绝对压力传感器 小型压阻式固态压力传感器(续) 呼吸、透析和注射泵设备中用的压力传感器 p1进气管 p2进气管 固态压力传感器 小型压阻式固态压力传感器(续) 表压压力传感器 p1进气管 投入式液位计 压阻式固态压力传感器用于投入式液位计:p1的进气孔用柔性不锈钢隔离膜片隔离,并用硅油传导压力而与液体相通。 投入式液位计外形(续) 压阻式固态压力传感器 光柱 显示器 橡胶 背压管 投入式液位传感器 投入式液位传感器安装方便,适应于深度为 几米 至 几十米,且混有 大 量 污物、杂质的水或其他液体的液位测量。 投入式液位计液位的计算: 安装高度h0处水的表压 p1=?gh1 h=h0+h1=h0+p1 /(?g) 例:液位计安装高度为1m,测得压力为98kPa,求水的深度。 电阻应变仪 下图所示的静态应变仪测量范围:±19999με; 分辨率: 1με;电桥电压:直流2.5V; ?应变片:120Ω或其他阻值; 测量点数:8/16点; 与计算机接口的多路电阻应变测量模块 材料应变的测量 斜拉桥上的斜拉绳应变测试 七、压电式压力传感器 当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同;当动态力变为静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 1、 压电效应 压力仪表定义和应用 当电阻体受到外力作用时,它的电阻值将发生变化,其相对变化量为 : 前一部分是(1+2μ)?,由材料的几何尺寸变化引起,称“应变效应” 后一部分为 ?E?,由电阻率随应变而引起,称“压阻效应”。 对金属材料,以前者()为主 对半导体, 以后者(压阻效应)为主 应变式压力变送器 1原理:利用金属应变片或半导体应变片将测压弹性元件的应变转换成电阻变化。 2应变式压力变送器的型式 1 )组成:两部分, 感压弹性元件,应变片。也可将二者结合成一体。 2)测量电路的工作:将应变片电阻的变化转换成电流或电压输出是由测量电路完成的。 r=0,εr、εt达最大值 r=0.58r0, εr=0 r=r0,εr达负的最大值 r=r0, εt=0 3、测量转换电路——不平衡电桥 金属应变片的电阻变化范围很小,如果直接用欧姆表测量其电阻值的变化将十分困难,且误差很大。 例如,有一金属箔式应变片,标称阻值R0为100?,灵敏度K=2,粘贴在横截面积为9.8mm2的钢质圆柱体上,钢的弹性模量E=2?1011N/m2,所受拉力F=0.2t,受拉后应变片的阻值R 的变化量仅为0.2?,所以必须使用不平衡电桥来测量这一微小的变化量。 下面分析该桥式测量转换电路是如何将?R /R转换为输出电压Uo的。 3、测量转换电路——不平衡电桥 电桥平衡的条件 :R1/R2=R4/R3 调节RP,最终可以使R1?/R2?=R4/R3( R1?、R2?是R1、R2并联RP后的等效电阻),电桥趋于平衡,Uo被预调到零位,这一过程称为调零。图中的R5是用于减小调节范围的限流电阻。 单臂电桥 全桥四臂工作方式的灵敏度最高,双臂半桥次之,单臂半桥灵敏度最低。 双臂电桥 R1、 R2为应变片, R3、R4为固定电阻 。应变片R1 、R2 感受到的应变?1~?2以及产生的电阻增量正负号相间,可以使输出电压Uo成倍地增大。 四臂全桥 全桥的四个桥臂都为应变片,如果设法使试件受力后,应变片R1 ~ R4产生的电阻增量(或感受到的应变?1~?4)正负号相间,就可以使输出电压Uo成倍地增大。上述三种工作方式中,全桥四臂工作方式的灵敏度最高,双臂半桥次之,单臂半桥灵敏度最低。采用全桥(或双臂半桥)还能实现温度自补偿。 全桥的温度补偿原理 当环境温度升高时,桥臂上的应变片温度同时升高,温度引起的电阻值漂移数值一致,可以相互抵消,所以全桥的温漂较小;半桥也同样能克服温漂。 4、应变效应的应用 应变效应的应用十分广泛。它可以测量应变应力、弯矩、扭矩、加速度、位移等物理量
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