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光学薄膜基础理论会计学第1页/共49页复习：平面电磁波理论——反射和折射定律 ---菲涅尔折射定律它不仅适用于介质，同样适用于金属。第2页/共49页光在两种材料交界面上的反射振幅反射系数:光能的反射率：第3页/共49页布儒斯特角第4页/共49页第二种介质为吸收时的情况 当第二介质是吸收介质，菲涅尔公式也是有效的，不同的只是这种介质的折射率N为复数:N=n-ik 由菲涅耳定律第5页/共49页第二种介质为吸收时的情况第6页/共49页波长为546nm的光入射到金属Ag和Cu上的情形第7页/共49页第二种介质为吸收时的情况 不管入射角如何，反射光的位相变化不再是00或1800而是它们中间的某一角度, 同时s—分量和P—分量之间有一个不为0的相对位相差, 因而当入射光为线偏振光在吸收介质上反射后通常成为椭圆偏振光， 正是基于这种认识，利用反射光的椭圆偏振测量就可确定吸收介质的光学常数。第8页/共49页光学薄膜系统特性计算本节主要内容： 单层膜反射率及其特征矩阵膜系的等效光纳及特征矩阵薄膜的反射、透射、吸收光学薄膜的透射定理第9页/共49页 单层膜的反射在膜层内b界面上：第10页/共49页 单层膜的反射第11页/共49页 单层膜的反射在膜层内E和H在边界a上的值为： 第12页/共49页 单层膜的反射在入射介质中看a界面上：第13页/共49页 单层膜的反射上述结果用矩阵表示：在知道界面a处Ea和Ha后，利用上堂课的方法可求出反射率，仿造导纳的定义公式，定义膜系的导纳Y为：这时的问题就可以当作求光纳为 的入射媒质和光纳为Y膜系之间单一界面的问题。第14页/共49页 单层膜的特征矩阵由公式：第15页/共49页 单层膜的反射单层膜的反射率为： 这样就把单层膜的问题等效成了单一界面的问题，而不是用多次干涉的方法。第16页/共49页 λ/2和λ/4的光学厚度薄膜的特征矩：当单层膜光学厚度为λ/2和λ/4的整数倍第17页/共49页 λ/2和λ/4的光学厚度这时的情况虽不象n为偶数时那么简单，但是计算还是方便的。如果基片或膜系具有等效光纳Y,在其上镀一层厚度为λ/4奇数倍，特征光纳η 的薄膜后，膜系的等效光纳变为η2/Y。由于λ/2和λ/4的光学厚度的膜层组成的膜系比较简单，所以膜系设计常常用指定波长1/4的倍数来表示，一般只用两种或三种不同的膜料构造膜系， λ/4光学厚度的常用缩写符号是H、M、L分别表示高、中、低折射率。第18页/共49页 λ/2和λ/4的光学厚度当膜层的光学厚度为λ/2时当膜层的光学厚度为λ/4时第19页/共49页矩阵为膜层的特征矩阵，由膜层参数唯一确定。第20页/共49页矩阵矩阵 称为介质层的特征矩阵，它包含了介质层的全部有用参量并且为单位模矩阵； 为相位厚度， 、 为介质层的折射率和几何厚度，两者的乘积为光学厚度， 为光线在介质层中与法线方向的夹角； 为有效导纳，对于s偏振 ，对于p偏振 。第21页/共49页显然有：第二：第22页/共49页讨论：第一：在正入射时，当膜的光学厚度取 奇数倍时，反射率是一极大还是极小，视薄膜的折射率是大于还是小于基片的折射率而定；当膜的光学厚度取 偶数倍时，情况恰好相反。第23页/共49页第24页/共49页第25页/共49页单一界面的反射和透射系数用有效导纳表示为等效界面：将一个多界面的薄膜系统，等效地看作一个单一界面，其中将等效界面看作是入射介质与薄膜、基板组合形成的等效介质之间的界面。即等效界面两侧的介质分别是入射介质和等效介质。单层薄膜的两个界面在数学上可以用一个等效的界面来表示，膜层和基板的组合导纳是Y第26页/共49页 多层膜的反射假设在前面讨论的单层膜上再加上一层膜，如图这时与基底相连的界面为c，则紧贴基底的膜层的特征矩阵：第27页/共49页 多层膜的反射容易得到：称为该双层膜系的特征矩阵，Y=C/B则反射率为：第28页/共49页 多层膜的反射将这一结果推广到多层膜：薄膜的特征矩阵的行列式等于1矩阵：称为第r层膜的特征矩阵第29页/共49页所以，膜系特征矩阵为膜层的位相厚度S偏振光导纳P偏振光上面这些式子构成几乎全部光学薄膜的计算基础。第30页/共49页无吸收的介质薄膜的特征矩阵的一般形式可写成式中m11和m22是实数，而且m11 ＝m22， m21 和 m12为纯虚数，且其行列式值等于1， 称为单位模矩阵。即 对于一个四分之一波长层，即有效光学厚度为某一参考波长的四分之一的薄膜，在参考波长处特征矩阵有第31页/共49页而半波长的特征矩阵为可见半波长层在该参考波长处对薄膜系统的特性没有任何影响，称为虚设层。由上面推导，多层膜和基片的组合导纳为吸收率A:反