电子科大薄膜物理赵晓辉化学溶液法介绍.pptxVIP

会计学;定义;§5.1 化学反应沉积 ;第3页/共39页;自催化化学镀的特点： (1)可在复杂的镀体表面形成均匀的镀层。 (2)镀层的孔隙率较低。 (3)可以直接在塑料、陶瓷、玻璃上沉积 镀膜。 (4)镀层具有特殊的化学物理性质。 (5)不要电源，没有电极。;应用;反应过程;§5.2 溶胶－凝胶法 ;;; (1)溶胶的制备 A.有机途径（醇盐法），可以用部分无机物代替醇盐。能互溶，通过有机醇盐的水解与溶聚而形成溶胶 . 缺点：在干燥过程中容易开裂，由大量溶剂蒸发引起的残余应力引起 B.无机途径（胶体法） 通过某种方法制得的氧化物小颗粒稳定的悬浮在某种溶剂之中形成溶胶。 特点：无裂纹，但附着力较差，不易找到适当的溶剂来溶解氧化物，特别是多组分氧化物。 ;1. 浸渍提拉法 浸渍→提拉法→热处理 液膜由于溶剂大量迅速蒸发，干燥形成凝胶膜，然后进行热处理，得一层氧化物膜，每次循环可控制膜厚5－30nm。可以多次循环，但是必须充分干燥和热处理。 ;;第13页/共39页;所需条件;基板充分浸润 根据沉积方法调整溶液流变性，控制沉积工艺参数，避免出现厚度变化（条纹）； 热分解和结晶时薄膜无裂纹或成分不均匀； 薄膜和基板互扩散较小；薄膜制备过程中基板性能无明显衰减； 溶液可保持长期稳定，避免老化导致薄膜性能的不可重复性。;MOD/金属有机沉积;;;第19页/共39页;§6－2 阳极氧化法 ;溶解反应→水合金属离子→氢氧化物或者氧化物。 氧化膜覆盖表面后，金属的溶解反应停止，而氧化反应继续。由金属离子合电子穿过氧化膜层在膜表面继续生长，因此需要外加电压，1.0-1.4nm/v。 ;膜的形态：多孔形和屏蔽形 Al为例，六角形柱状晶柱。各柱中有通过中心的细孔。在含有二氯基酸的硫酸、草酸、磷酸中形成多孔形膜。而在硼酸盐，磷酸盐等中性溶液中生成薄的致密的屏障形薄膜。 机理：膜局部溶解→多孔形膜 不发生溶解→屏蔽形膜。 用途： 多孔形膜，防金属腐蚀，磨损，装饰。 屏蔽形膜，电解电容器。 ;§6－3 电镀法 ;;;电镀液： a)水溶液，金属盐溶于其中，广泛应用。 b)非水溶液，有机或无机??剂溶解金属，几乎无工业应用。 c)熔盐，熔融铝盐为工业采用。 阳极： 阳极为被镀的金属，提高阳极电位，使阳极溶解。 特点：膜层致密，光滑，无针孔但是膜层厚度受镀件外形的影响←扩散不均。 ;§6－4 LB膜的制备 ;薄膜的制备方法 ： A.垂直浸渍法 浸润与不浸润现象 单分子层与基板间的液面凸凹情况，视插入与提起的操作而定。 将基片在单分子层上下移动，每上下移动一次可得到1－2层膜。 若基片是疏水性的，膜层的疏水端就会吸附在基板上。只能在插入的过程中附着一层膜。 若基片是亲水性的，只能在提起的过程中附着一层膜。 ;;附着一层膜的，可连续附着另一层膜的，称Y型膜 疏水基板：只能在插入过程中附着一层膜，称X型膜（不稳定）ηup≈ 0 亲水基板：只能在提出过程中附着一层膜，称Z型膜 (不稳定) ηdown ≈0 水平附着法 表面平滑，水平的基板从上向下缓慢下降，可制得理想的X型膜。 ;LB膜的特点： A.可制得高结晶度的有机薄膜。 B.可制得超薄，均匀，厚度及分子层数可控的薄膜 C.可方便制取各种异质LB膜 D.通过聚合反应可改善共热稳定性、机械稳定性、并可能改变某些电学、光学性能 ;应用 表面催化、电磁波的吸收与衰减、敏感薄膜、光电开关、双稳态、超导、非线性光子学 ;§6－5 液相外延（LPE） ;LPE的优点： A.生长设备比较简单 B.纯度比较高，生长速率较快 C.组分和厚度可较精确控制，重复性好 D.掺杂剂选择范围比较广 E.外延层位错密度较低 F.操作安全 缺点： 表面形貌大都不如气相外延的好。 ;生长方法： A.倾斜法 缺点：溶液和生长晶体表面分离不完全，有部分溶液粘附在生长层表面，并且生长层厚度和均匀性难以控制 B.浸渍法 与倾斜法相似，设备简单，外延层厚度不易均匀 C.滑动舟法（主要使用方法） 可进行多层液相外延源片GaAs的作用是使溶液达到饱和。 ;;人有了知识，就会具备各种分析能力， 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书，广泛阅读， 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识， 培养逻辑思维能力； 通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平， 培养文学情趣； 通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知