真空检漏课件.ppt

第五章 真空检漏 ;主要内容;5.1 概述;真空检漏的基本概念 ;5;5.2 检漏的基本原理;二. 示漏气体与探测器 示漏气体：卤素 ；放射元素；氨气等 探测器： 电离计等； 三、检漏方法的响应过程 立刻响应；响应较快稳定；响应很慢稳定； 探查法 四、各种效应的利用 五、检漏器的性能指标;漏孔的气流特性 气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。 检漏方法的分类 ;Chapter 5 Leak Detection;Continuation of general introduction;Continuation of general introduction;Determination of the real leaks;Continuation of general introduction;Table of leak rate specifications;Leak detection;Continuation of the principle of leak detection;5.3 压力检漏法;二. 卤素检漏法;二. 卤素检漏法;三、氨检漏法;5.4 真空检漏法;一. 高频火花检漏法;?(2)玻璃真空系统的检漏????将高频火花检漏器的放电簧F沿着已抽空的玻璃系统外表面慢慢移动，没有漏孔时放电火花束呈杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一条细束，且指向系统上亮点(漏孔内空气电离率远远大于玻璃的结果)，该亮点就是漏孔的位置。????(3)金属真空系统的检漏????各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表3。选用表中示漏物质施加在金属真空系统的可疑处，用高频火花检漏器激发系统上玻璃质规管或盲管内的气体，使之放电，观察放电颜色的变化便可实现检漏。这种方法的工作压力为5×10-1～102Pa，检漏灵敏度为10-3Pam3／s。 ;?????????????????????????表3?各种气体和蒸汽的辉光放电颜色;二. 真空计检漏法;三、质谱仪检漏法;1．工作原理与结构 ;在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。????可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。 ;双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪 ;?2 性能试验方法 ;②反应时间、清除时间及其测定????反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。????清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。③工作真空、极限真空及入口处抽速????质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。;2．示漏气体 氦，why？P128 3．检漏方法 喷吹法、氦罩法、检漏盒法、吸枪法、充压法、背压法、累积法、选择性抽气法、检漏台法、逆流检漏法和标准漏孔比较法。 ;标准漏孔 ;?玻璃毛细管型标准漏孔（图中a）是用局部拉细的玻璃毛细管制成的，漏率为10-8~10-7Pam3/s。????金属压扁型标准漏孔（图中b）通常是用无氧铜或可伐管压制而成，漏率为10-8~10-6Pam3/s。????玻璃铂丝型标准漏孔（图中c）是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。 薄膜渗氦型标准漏孔（图中d）是利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，其漏率一般为10-5~10-9Pam3/s。 ;Leak detection;Leak detection;Continuation of halogen leak detector;Schematic diagram of the halogen leak detector;Continuation of the methods of leak detection;Continuation of the methods of leak detection;Continuation of