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硅芯拉制操作规程 1、 硅芯操作人员应经专业技术培训，并经考试合格后才能上 岗进行操作。 2、 操作人员上班时必须按规定正确使用劳动保护用品，严格 遵守技术操作规程，不得违规操作。 3、 设备启动前，先检查硅芯炉的接地情况，保证有良好的接 地，同时检查设备运行记录，确认设备和管道的阀门处于 正常状态。 4、 打开上炉门，用脱脂纱布沾上分析纯的乙醇擦净炉膛、上 轴和籽晶头，关闭并拧紧上炉门。 5、 打开下炉门，用脱脂纱布沾上分析纯的乙醇擦净炉膛、窥 视镜、高频线圈、下轴、籽晶夹头、提拉头和硅芯料基座 卡盘。 6、 戴上洁净手套将硅芯料装入基座卡盘中，经检查硅芯料装 直后，关闭并拧紧下炉门。 7、 操作传动机构，下降上轴籽晶处于感应线圈中间，并接近 （稍微高于）线圈的预热位置。 8、 关闭炉门放气阀，合上真空泵电源开关，打开真空阀对炉 膛进行抽真空。 9、 打开高频电源冷却水阀门，调节高频输出功率至“0”位后， 合上高频电源开关预热高频电源。 10、 当真空度显示为3pa 时，将上、下炉门再紧一遍，打开炉 体冷 水 阀和加热线 圈冷 水 阀，保证水压在 0.12-0.18MPa。 11、 当真空度显示为3pa 时，关闭真空阀和真空泵，打开氩气 进气阀，调节氩气流量计向炉膛内充入氩气至真空表为 0.01MPa 时，关闭氩气进气阀，再打开真空阀和真空泵抽 真空，当真空度显示为3Pa 时关闭真空阀和真空泵，打开 氩气进气阀，调节氩气流量计向炉膛内充氩气至真空表为 0.01-0.02MPa。 12、 炉膛内通入氩气正常后，对高频电源送上高压，并调节一 定的功率输出来预热籽晶，籽晶被加热到红热状态时，升 起上轴，让籽晶末端熔成一小球。 13、 下轴上升，置基座硅棒顶端与线圈距离2-3mm处，上轴下 降，使小熔球与基座硅棒相接触，利用籽晶末端小熔球预 热基座硅棒，直到硅棒达到红热状态时，缓慢增加高频输 出功率，使硅棒顶端熔透后把籽晶和基座硅棒熔融接在一 起，待熔区平稳后，进行拉制硅芯。 14、调节上轴提拉速度、下轴供料速度、加热功率，使拉制的 硅芯直径稳定进行。 15、 拉制大头：降低上轴提拉速度，调节下轴供料速度、加热 功率，使其拉制成直径约为15-18mm，长度约为18-20mm 的大头。 16、停炉取硅芯：关闭高频加热,10 分钟后关闭氩气进气口阀 （流动气氛法使用，保压法则不需要），启动真空泵，打开 真空阀排气，当真空度显示为3Pa 时，松动上下炉门拧手， 关闭真空泵和真空阀。打开放气阀将空气注入，打开上、 下炉门，取出硅芯。 17、停车：非连续开炉时，断开真空计真空泵，电控柜和高频 柜电源开关，停炉待15分钟后，关闭加热线圈、炉体和冷 却水阀门。 18、 拉制硅芯一般事故处理: 1) 断电 硅芯拉制过程中，若突然断电，将高频输出功率调到“0” 位，关闭高频电源，将上轴拉速和下轴升速降至“0”位（带 继电器的硅芯炉控制柜使用，电脑触摸屏的硅芯炉控制柜则 不需要），关闭控制电源，关闭冷却水阀门，再来电时，按有 关规定操作进行。 2) 断冷却水 硅芯拉制过程中出现突然停水，应立即将高频输出功率 调到“0”位，停止上轴提升、下轴供料及下轴旋转，关闭控 制电源，关闭冷却水控制阀门，待水压正常后按有关操作进 行。 3) 熔区结晶 硅芯拉制过程中，当熔区表面出现结晶从而使上下轴连接 在一起，应立即停止上轴提升、下轴供料及下轴旋转，若结 晶过于严重，则还应将高频输出功率调到“0”位，关闭控制 电源，待冷却一段时间后开炉，重新装炉拉制。 4) 熔区流跨 硅芯拉制过程中，熔区温度过高、下轴供料过快、熔区产 生硅跳从而导致流跨，使之拉制中断，此时应立即停止上轴 提升、下轴供料及下轴旋转，将高频输出功率调到“0”位，