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- 2022-05-24 发布于上海
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提拉法又称丘克拉斯基法,是丘克拉斯基(J.Czochralski)在1917 年发明的从熔体中提拉生长高
质量单晶的方法。这种方法能够生长无色蓝宝石、红宝石、钇铝榴石、钆镓榴石、变石和尖晶石
等重要的宝石晶体。2O 世纪60 年代,提拉法进一步发展为一种更为先进的定型晶体生长方法—
—熔体导模法。它是控制晶体形状的提拉法,即直接从熔体中拉制出具有各种截面形状晶体的生
长技术。它不仅免除了工业生产中对人造晶体所带来的繁重的机械加工,还有效的节约了原料,
降低了生产成本。
第一节 提拉法
一、 提拉法的基本原理
提拉法是将构成晶体的原料放在坩埚中加热熔化,在熔体表面接籽晶提拉熔体,在受控条件
下,使籽晶和熔体的交界面上不断进行原子或分子的重新排列,随降温逐渐凝固而生长出单晶体。
图 3-1 提拉法合成装置
(点击可进入多媒体演示)
二、提拉法的生长工艺
首先将待生长的晶体的原料放在耐高温的坩埚中加热熔化,调整炉内温度场,使熔体上部处
于过冷状态;然后在籽晶杆上安放一粒籽晶,让籽晶接触熔体表面,待籽晶表面稍熔后,提拉并
转动籽晶杆,使熔体处于过冷状态而结晶于籽晶上,在不断提拉和旋转过程中,生长出圆柱状晶
体。
1.晶体提拉法的装置
晶体提拉法的装置由五部分组成:
(1)加热系统
加热系统由加热、保温、控温三部分构成。最常用的加热装置分为电阻加热和高频线圈加热
两大类。采用电阻加热,方法简单,容易控制。保温装置通常采用金属材料以及耐高温材料等做
成的热屏蔽罩和保温隔热层,如用电阻炉生长钇铝榴石、刚玉时就采用该保温装置。控温装置主
要由传感器、控制器等精密仪器进行操作和控制。
(2)坩埚和籽晶夹
作坩埚的材料要求化学性质稳定、纯度高,高温下机械强度高,熔点要高于原料的熔点 200℃
左右。常用的坩埚材料为铂、铱、钼、石墨、二氧化硅或其它高熔点氧化物。其中铂、铱和钼主
要用于生长氧化物类晶体。
籽晶用籽晶夹来装夹。籽晶要求选用无位错或位错密度低的相应宝石单晶。
(3)传动系统
为了获得稳定的旋转和升降,传动系统由籽晶杆、坩埚轴和升降系统组成。
(4)气氛控制系统
不同晶体常需要在各种不同的气氛里进行生长。如钇铝榴石和刚玉晶体需要在氩气气氛中进
行生长。该系统由真空装置和充气装置组成。
(5)后加热器
后热器可用高熔点氧化物如氧化铝、 陶瓷或多层金属反射器如钼片、铂片等制成。通常放
在坩埚的上部,生长的晶体逐渐进入后热器,生长完毕后就在后热器中冷却至室温。后热器的主
要作用是调节晶体和熔体之间的温度梯度,控制晶体的直径,避免组分过冷现象引起晶体破裂。
2.晶体提拉法生长要点
(1)温度控制
在晶体提拉法生长过程中,熔体的温度控制是关键。要求熔体中温度的分布在固液界面处
持熔点温度,保证籽晶周围的熔体有一定的过冷度,熔体的其余部分保持过热。这样,才可保证
熔体中不产生其它晶核,在界面上原子或分子按籽晶的结构排列成单晶。为了保持一定的过冷度,
生长界面必须不断地向远离凝固点等温面的低温方向移动,晶体才能不断长大。另外,熔体的温
度通常远远高于室温,为使熔体保持其适当的温度,还必须由加热器不断供应热量。
(2)提拉速率
提拉的速率决定晶体生长速度和质量。适当的转速,可对熔体产生良好的搅拌,达到减少
径向温度梯度,阻止组分过冷的目的。一般提拉速率为每小时 6-15mm。
在晶体提拉法生长过程中,常采用“缩颈”技术以减少晶体的位错,即在保证籽晶和熔体充
分沾润后,旋转并提拉籽晶,这时界面上原子或分子开始按籽晶的结构排列,然后暂停提拉,当
籽晶直径扩大至一定宽度(扩肩)后,再旋转提拉出等径生长的棒状晶体。这种扩肩前的旋转提
拉使籽晶直径缩小,故称为“缩颈”技术。
3.提拉法的优缺点
晶体提拉法与其它晶体生长方法相比有以下优点:
(1)在晶体生长过程中可以直接进行测试与观察,有利于控制生长条件;
(2)使用优质定向籽晶和“缩颈”技术,可减少晶体缺陷,获得所需取向的晶体;
(3)晶体生长速度较快;
(4)晶体位错密度低,光学均一性高。
晶体提拉法的不足之处在于:
(1)坩埚材料对晶体可能产生污染;
(2)熔体的液流作用、传动装置的振动和温度的波动都会对晶体的质量产
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