SEMI S2版本发展简介.pdfVIP

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2022-05-25 发布于江苏
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SEMI S2 我应该用 SEMI 的哪个版本？设备制造商在开始对设备进行安全评估时会产生这样一个问题。在过去的 12 年里，SEMI™已经出版了8 种不同版本的SEMI S2，即《半导体制造设备的安全指南》。1991 年，一个代表终端用户和设备制造商的核心安全组制定了一个文件，来协调终端用户的安全需求，于是，SEMI S2 首次出版。目的在于建立一套标准，使制造商不必再满足“Intel 规范”，“IBM 规范”，“摩托罗拉规范”和“AMD 规范”等。不久， SEMI S2-91 要求的扩展和细化工作开始。