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S-4800 日立扫描电子显微镜（SEM ）简易操作指南
一、 开机前准备
1.1 制备样品（带口罩与手套进行）
SEM 样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。但需注意
以下事项：
a) 样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形，
没有腐蚀性和放射性。（通常是干燥固体。）
b) 由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。金膜在一定程度上会影
响样品原有形貌。（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO，只需用导
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