(0.5～100)mm4等量块中心长度的测量结果不确定度评定.pdfVIP

（0.5～100）mm4等量块中心长度的测量结果不确定度评定 摘要：本实例涉及采用 PUMA 方法进行的评定和对给定的测量任务判断测 量程序和测量条件下的合格性。 关键词：量块；中心长度；测量不确定度 1．任务和目标不确定度 1．1 测量任务 测量任务是对中心长度为10mm 和100mm 的4 等量块规定点进行校准。量 块变动量为0.30μm +0.7×10-6ln (ln 是量块长度分段中最大的标称长度) 。 1．2 目标不确定 目标不确定为0.20μm +2×10-6ln (ln 是量块长度分段中最大的标称长度)，包 含因子k=2.8 。 2 ．原理，方法，程序和条件 2 ．1 测量原理 机械接触的方式，与一已知尺寸（参考量块）进行比较。 2 ．2 测量方法 微差法，用中心长度为10mm 和100mm 的3 等量块作参考标准器与中心长 度为10mm 和100mm 的4 等被测量块进行比较。 2 ．3 初始测量程序 ——用接触式干涉仪测量被测量块； ——使用中心长度为10mm 和100mm 的参考量块； ——接触式干涉仪作比较器。 2 ．4 初始测量条件 ——接触式干涉仪符合生产厂的技术指标； ——投影读数显示，分辨力为0.1μm ； ——实验室温度：20℃±1℃； ——接触式干涉仪温度的测量分辨力为0.25 ℃； ——被测量块和参考量块之间的温度差小于1℃； ——接触式干涉仪和量块都是钢制的； ——操作人员是经过培训的，并且十分熟悉接触式干涉仪的使用。 3 ．测量装置图示 见下图。 4 ．不确定来源列表和讨论 见表1。 5 ．首次评估 5 ．1 首次评估——不确定分量的说明及计算 uRS——参考标准器（量块） 检定规程给出参考量块中心长度的扩展不确定为U=0.10μm +1×10-6ln (ln 是 量块长度分段中最大的标称长度)，包含因子k=2.8 ，则： 10mm 量块：uRS=U/k=0.11/2.8=0.039μm 100mm 量块：uRS=U/k=0.20/2.8=0.071μm uEC——接触式干涉仪的示值误差 B 类评定 示值误差曲线的最大允许值为(0.03+1.5niΔλ/λ)μm 。1.5niΔλ/λ 很小，忽略不 计。故： aEC=0.03 μm 为安全起见，假定为矩形分布（b=0.6），于是不确定分量为： uEC=0.03×0.6=0.018μm uPA——测砧准直 B类评定 由于参考标量块和被测量块用同样的接触方法（只要他们的中心长度在合理 范围内），平面性误差可以忽略不计。uPA=0 表1 中心长度测量的不确定分量概述和评注 uRR——重复性/分辨力 A类评定 测量设备的分辨力，为安全起见，假定为矩形分布，于是不确定分量为： μm 对两量块中心长度差的重复性进行了研究， 用10mm量块与标准量块测量10次，得到标准偏差： 单次实验标准差 μm 在实际测量中，两人各测一次取算术平均值为测量结果，则可得到： μm 用100mm量块与标准量块测量10次，得到标准偏差： 单次实验标准差 μm 在实际测量中，两人各测一次取算术平均值为测量结果，则可得到： μm uTD——两量块之间的温度差 B类评定 两量块之间的温度差不大于1℃。两量块的线膨胀系数假定为α=11.5×10-6℃ -1，于是： 对于10mm量块 αTD=11.5×10-6℃-1×10mm×1℃=0.115μm 对于100mm量块 αTD=11.5×10-6℃-1×100mm×1℃=1.150μm 假定服从U型分布(b=0.7)： 对于10mm量块