1 引言
以硅材料为主导的微电子技术在过去半个多世纪中取得了举世瞩目的成就,一直是现代信息社会发展的驱动力。微电子芯片的发展遵从摩尔定律,但随着微电子芯片的工艺节点向原子级靠近,量子效应对芯片性能的影响加剧,摩尔定律面临失效。人们使用多核处理器提高性能和降低功耗,然而总线的信号传输速度制约了处理器的处理能力[1]。传统的电互连由于电磁干扰和时延等原因,不能满足未来高速数据通信的需求。光通信具有抗电磁干扰、高传输率、低能耗、低时延等特性,光作为信息互联的媒介相对电信号来说具有先天的优越性[2,3,4,5,6]。20世纪70年代美国贝尔实验室的 Miller 提出了集成光学的概念[7],其目标是在
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