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虚拟仪器的真空度现场测试系统 真空度现场测试系统测量范围为( 1 × 105 ～ 2 × 10-9 ) Pa。文章介绍了该系统的硬件构成和工作原理。该系统硬件部分主要包括电容薄膜真空计、标准电离真空计、分离规和法兰转换套件。基于美国NI 公司的Labview软件开发平台，结合日常型号服务的热真空试验设备和其它真空设备的测试需求，开发了真空度现场测试软件。软件以模块化思想为根底，可根据不同的测试要求选择相应的测试标准，进而实现数据自动处理，报告自动生成。 1、引言  真空技术是20 世纪初发展起来的一门新的技术学科，随着科技的进步，真空技术作为一门实用的根底科技应用范围日益广泛。目前，真空技术已广泛应用于航天、航空、高能物理、可控热核聚变、表面物理、半导体与微电子等尖端科学研究领域，此外还广泛应用于工业和服务业。从日常生活用的灯泡的制造，到空间环境模拟实验，所有真空工程中的应用设备，都是通过真空系统实现的。  不同的真空应用设备，所用的真空系统是不一样的，但其基本组成是类似的。一套真空系统主要由真空室、真空获得设备、真空测量设备和其它元件构成。真空度是真空系统最重要的物理参数之一，也是衡量真空系统性能的重要物理参数，同时真空度的准确测量是影响工艺和真空实验的重要参数。  对于新研制的真空设备为了了解其真空特性是否满足使用要求，通常要对其开展测试验收以确保设备的性能指标。对于使用中的真空设备，为了检验其特性，需要对其开展周期测试。由于真空设备体积庞大，搬到计量室开展特性测试显然很不现实，因此需要对其开展现场测试。由于真空系统的复杂多样性，真空度准确测量对工艺和试验的重要影响，要求真空度现场测量系统必须精度高，覆盖的量程宽。  结合日常型号服务工作，尤其是空间热真空环境试验系统的真空度测试需求，我们构建了真空度现场测试系统，并基于美国NI 公司的Labview 软件开发平台，开发了真空度现场测试软件。可根据不同的测试要求选择相应的测试标准，进而实现数据自动处理，报告自动生成，大大提高工作效率。 2、硬件部分及工作原理  真空度测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象，然后再测量这一过程中与压力有关的物理量，进而设法确定压力值。物理量与压力的关系，都是在某一压力范围内才最显著，超出这个范围，关系变得弱了。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是真空计的“量程”。所以针对不同的测量范围必须选择不同的测量标准，才能保证整个测量过程的准确性，这是真空测量的特点，综合考虑精度、稳定性、复现性、可靠性和寿命等因素。我们确定了不同真空度段的测量标准，具体见表1。由于真空规和真空设备接口法兰的多样性，为了方便连接设计了各种法兰转接口。  表1 现场真空度测试系统不同真空段的测量标准  2. 1、电容薄膜真空计  在粗真空、低真空测量中，薄膜规的精度和稳定性最好。美国MKS 生产的690A 系列电容薄膜规为美国军用标准，也是国内真空计量标准，真空度的测量可到达读数精度的0. 05%，是目前准确度等级最高的真空度测量仪器。由于不同型号的薄膜规器测量范围也不一样，为了扩展量程，需要组合使用，其测量范围为( 105 ～ 10-2 ) Pa。  根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管( 又称为电容式压力传感器) 和测量仪器两部分组成。金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室，分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统( 真空度 10 - 3 Pa) 的参考压力室。在这两个室的连通管道上设置一个高真空阀门。测量时，先将阀门打开，用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽至参考压力。同时调节测量电桥电路，使之平衡，即指示仪表指零。然后，关闭阀门，测量室接通被测真空系统。当被测压力大于参考压力时，由于规管中的压力差，膜片发生应变引起电容改变，破坏了测量电桥电路的平衡，指示仪表上亦有相应的指示。调节直流补偿电源电压对电容充电，使其静电力与压差相等，此时，电桥电路重新到达平衡，指示仪表又重新指零。根据补偿电压的大小，就能得出被测压力。  2. 2、电离真空计  标准电离真空计和分离规均为电离真空计，由灯丝加热提供电子源。电力真空计其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。普通电离真空计的允许误差为50%，标准电离真空计精度为5%，测量范围( 10-1 ～10-5 ) Pa，在真空计量中用作二等标准。分离规精度为15%，测量范围( 10-2 ～ 10-9) Pa，作为超高真空测量具有较好的精度和稳定性。电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体