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涡旋干式真空泵相关技术和安全使用问答 Q：什么是涡旋干式真空泵？  A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。  Q：涡旋干式真空泵的特点？  A：◇无油、无污染  ◇低噪音、低振动  ◇使用寿命长  ◇空气冷却  ◇配气镇阀、可抽可凝性气体  Q：涡旋干式真空泵的主要用途？  A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；  ◇用于液晶注入系统；  ◇分子泵真空系统的前级泵；  ◇真空密封泵；  ◇冷泵前级；  ◇用于科学和化学分析仪器；  ◇真空发生器；  ◇电子显微镜前级泵。  Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？   项 目   指 标  型号 DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵) 抽气速率 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz. 极限真空度 ≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启) 噪音 ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭) 电机 单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W 最***续进气压力 30,000Pa 最大抽水蒸气能力 23克/小时 电机 4芯，0.6千瓦 电源 三相200V(±10%)  50/60Hz(±2Hz) ≥10A  单相100/200V(±10%)  50/60Hz(±2Hz) ≥10A  三相220V(±10%)  50Hz(±2Hz) ≥10A 电机速度 1425 rpm（50 Hz）  1430 rpm（50 Hz）  环境温度 1710 rpm（60 Hz）  1710 rpm（60 Hz）  进气口直径 5～35 ℃ 排气口直径 NW40 外型尺寸 NW25 重量 41kg   44kg  漏率 ≤6x10-2Pa L/S 附件 计时器(零件号502365)和说明书