真空技术的典型应用.docxVIP

真空技术的典型应用 现代社会每个人都在享受着真空技术给我们带来的便利。例如：暖壶能保温的秘诀就在于瓶壁内有真空的空间，减少了热传导，以保持壶内温度;荧光灯、街灯、汽车照明灯的内部也是真空状态，否则就无法发光。电视、电脑显示器等也离不开真空。眼镜和摄像机、照相机镜头为了提高光的透过率，表面所镀的光学薄膜也是应用了真空技术。  半导体产业离不开真空技术。生产半导体元件：(1)要在硅片上掺入相应的其他元素;(2)在生产集成电路时要形成复杂的金属薄膜和绝缘膜;(3)要开展表面的刻蚀处理等复杂的工序。如果生产过程中的真空度不够，表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3，是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言，哪怕落有一颗烟雾的颗粒，就好似大路上停了一架大型飞机一样，使电子无法通过或造成短路。  新材料开发离不开真空。以分子束外延为代表的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段，薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华，在超高真空环境中，薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行，到达衬底成膜;而且由于残留气体少，衬底表面形成的薄膜纯度高。  表面科学领域对真空度的要求极高。在极高真空的环境下，通过高温退火或结合离子溅射而获得物质的清洁表面，这时的表面没有吸附任何其他的分子或原子。利用扫描隧道电子显微镜等尖端的表面分析实验手段，可以看到物质表面的原子排列和电子状态。  物理学中最尖端的粒子加速器，是大规模真空技术的组合。电子(或其他带电粒子)要被加速到接近光速，如果电子储存环中不是超高真空状态，则电子会和其中的分子或原子碰撞，从而迅速衰减。另外，核聚变反应要到达上亿度的高温，极高真空环境是系统工作的基本前提。  军工、宇宙开发方面也离不开真空。隐形飞机或潜艇，要最大限度地吸收雷达波，以到达不被发现的目的。涂在飞机或潜艇上的吸收雷达波材料，就是活用真空技术而获得的纳米颗粒。宇宙开发更离不开真空，因为宇宙本身就处于超高真空状态。宇宙飞船使用的材料、对接技术，以及宇航员的太空服，处处都是真空技术的结晶。  真空技术的典型应用参照表1.2。其中的部分概念，将在以后的章节中加以介绍。  表1.2 真空技术的典型应用