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油扩散泵真空系统操作注意事项 任何油扩散泵真空系统中都会因发生故障而有可能影响设备的性能或生产能力。任何一只阀门的误操作都会使扩散泵泵油返流到真空室内，从而污染真空室和产品。前级管道上的漏孔、机械泵油液面高度不适当或前级管道阀门的失灵都会使前级压力超过临界值。当前级压力超过临界值时，扩散泵油会迅速返流到真空室里去。  在许多情况下，泵液的返流是由设备发生故障或操作步骤不当造成的。要做到这些注意事项的最简便的方法就是实现系统全自动操作。有了自动控制和定期维护，就可以提供完善的故障保护。并使返流减少到只有很少一点有机物污染的程度。  下面列出了操作人员必须熟悉的几条注意事项。  1.不能用机械泵将真空室直接抽至低于13.3Pa的压力。因为当压力低于13.3Pa时会引起机械泵油蒸汽分子返流到真空室而造成污染。如果在机械泵与真空室之间有油气捕集器， 则允许机械泵抽到13.3Pa以下压力。  2.如果在扩散泵入口与高真空阀之间装有液氮冷阱，则在抽气时不要在真空室的压力高于10-2Pa 时，给阱参加液氮，否则将使冷阱中凝结过多的水气。冷阱加液氮前，要把冷阱贮液罐中的所有水凝液去除掉，以防止水冻结在阱内。  3.在因为需要必须将扩散泵（或油增压泵）通大气之前，应将泵油冷却到安全温度以下，防止高温下泵油的氧化。  4.要防止因前级管道上的漏水、机械泵油液面高度不适当或前级管道阀门的失灵使扩散泵的前级压力超过临界值，当前级压力超过临界值时，泵液会迅速返流到真空室里去。  5.扩散泵最好配备热保护继电器，当发生停水事故时，能立即使加热器断电，并关闭泵入口阀门，防止泵液因温度过高变坏和返流。  6.扩散泵在稳定的工作状态下，不应超过最大气体负荷能力（最大抽气量）。应尽量防止在15～10-1Pa 的压力范围内长期工作，因为在该压力范围内，扩散泵和粗抽泵有最大返流率。  7.扩散泵工作时应经常检查泵是否有局部过热，检查冷却水温，水温过高时应加大冷却水量。  8.扩散泵的使用环境应要求尽量符合规定，如果室温高于35℃，湿度大于80％，泵的性能会下降。  9.扩散泵正常工作时，如真空系统的真空计规管打碎，或放气阀突然打开时，应马上关闭高真空阀。防止泵油氧化。  10.扩散泵停止使用期间应真空保存，冷却水用压缩空气吹干净。