真空计的测量范围.docxVIP

真空计的测量范围 压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量，即先在被测气体中引起一定的物理现象，然后再测量这一过程中与压力有关的物理量，进而设法确定压力值。这是真空测量的特点，但亦会造成某些问题。  任何具体物理现象与压力的关系，都是在某一压力范围内才最显著，超出这个范围，关系就变弱了。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程，是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及的压力范围宽达20个数量级(105～10-14 Pa)，没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围，因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但真空技术网(http:///)认为由于各种真空计在原理上的差异，在相互衔接的区域，往往要造成较大的误差。  在被测空间引起一定物理现象时，还会出现这样的问题，即从测量的角度出发，本需要一种单纯的物理现象，但有时却不可防止地带来一系列寄生现象，这些寄生现象不但给测量带来误差，有时还会“喧宾夺主”，完全把主要现象掩盖住了。在利用电子碰撞气体分子的方法中，荷能电子最终要打到电子收集极上，其能量急剧损失的过程会发射软X射线，这种射线又导致一些电极产生光电发射，最后影响到离子流的测量。  电离的方法是目前高真空和超高真空测量中使用最广泛的，可是它的寄生现象也特别多，它在应用时有抽气作用，有时又出现放气作用。电子碰撞电极除产生上述X射线外，还会出现电子碰撞脱附现象。有时在热阴极电离真空计中，由于阴极处于高温，气体在其上发生化学变化，因而改变气体成分。热阴极有时会发射正离子或中性粒子，热阴极显然改变规管内温度，其辐射热导致其他电极温度升高，产生热发射和变形效应。  由上观之，为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，抑制寄生现象。真空技术网(http:///)给出了一些真空计的压力测量范围。  表 一些真空计的压力测量范围