透射电镜-电子探针等技术.pptVIP

扫描电镜与能谱分析 c a 图3-19 设计的锡黄铜在NaCl（3.5%）+NH4Cl（0.5mol/L）溶液中腐蚀形貌 a Cu-Zn-Sn-Al-Ni-B-Mn-Sb-0.05RE腐蚀形貌 b Cu-Zn-Sn-Al-Ni-B-Mn-Sb-0.05RE线扫描 c Cu-Zn-Sn-Al-Ni-B-Mn-Sb-0.1RE腐蚀形貌 d Cu-Zn-Sn-Al-Ni-B-Mn-Sb-0.1RE线扫描 d b 3 电子探针仪的分析方法(1)定点元素全分析(定性或定量) 首先用同轴光学显微镜进行观察，将待分析的样品微区移到视野中心，然后使聚焦电子束固定照射到该点上。以波谱仪为例，这时驱动谱仪的晶体和检测器连续地改变L值，记录X射线信号强度I随波长的变化曲线，如图4-81b)所示。 检查谱线强度峰值位置的波长，即可获得所测微区内含有元素的定性结果。 通过测量对应某元素的适当谱线的X射线强度就可以得到这种元素的定量结果。 (2)线扫描分析 在光学显微镜的监视下，把样品要检测的方向调至x或y方向，使聚焦电子束在试样扫描区域内沿一条直线进行慢扫描，同时用计数率计检测某一特征X射线的瞬时强度。若显象管射线束的横向扫描与试样上的线扫描同步，用计数率计的输出控制显象管射线束的纵向位置，这样就可以得到某特征X射线强度沿试样扫描线的分布。 图4-86 电子