电容式传感器原理及其应用.pdfVIP

1 电容式传感器的工作原理及分类 2 电容式传感器的测量电路 3 电容式传感器的特点及设计改善措施 4 电容式传感器的应用 1.1 工作原理及结构形式  电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成 传感元件电容量的变化，再经过测量电路将电容量 的变化转换成电信号输出。  电容式传感器实际上是一个可变参数的电容器。 电容式传感器工作原理图 Ø 平板电容器电容量表达式为： Ø 三个参数都直接影响着电容量的大 小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个 参数改变，则电容量就将发生变化。 Ø 如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系， 那么电容量的变化可以直接反映被测量的变化情 况，再通过测量电路将电容量的变化转换为电量 输出，就可以达到测量的目的。 电容式传感器通常可以分为三种类型：改变 极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式； 改变介电常数的变介电常数式。 2.1 变面积式电容传感器  变面积式电容式传感器通常分为线位移型和角位移 型两大类。 （1）线位移变面积型 • 常用的线位移变面积型电容式传感器可分为平面线 位移型和柱面线位移型两种结构。 Ø 对于平板状结构，在图4-2 （a ）中，两极 板有效覆盖面积就发生变化，电容量也随 之改变，其值为： ab C 0 Ø 式中， ，为初始电容值。 d Ø 对于柱状结构，在图4-2 （b）中，覆盖面 积就发生变化，电容量也随之改变，其值 为： 2  h C 0 Ø 式中， ，为初始电容值。 0 ln( R / r) （2）角位移型 • 角位移型是变面积式电容传感器的派生形式，其派 生形式种类较多，如图所示。 （a）角位移型； （b）齿形极板型； （c）圆筒型； （d）扇型 图4-3 变面积式电容传感器的派生型 在图4-3 （a ）中，当动极板有一个角位移 时，它  与定极板之间的有效覆盖面积就会发生变化，从而导致 电容量的变化，电容值可表示为： 2.3 变间隙式电容传感器 当电容式传感器的面积和介电常数固定不变， 只改变极板间距离时，称为变间隙式电容传感器， 其结构原理如图所示。图中，活动极板与被测对象 相连。 Ø 当活动极板因被测参数的改变而引起移动时，电容 量随着两极板间的距离的变化而变化，当活动极板 移动后，其电容量为： Ø这类传感器一般用来对微小位移量进行测量，正常 工作在微米到几毫米的线位移。同时，变间隙式电 容传感器要提高灵敏度，应减小极板间的初始间距。 Ø为了改善这种情况，一般是在极板间放置云母、塑 料膜等介电常数较高的介质。 2.4 变介电常数式电容传感器 根据前面的分析可知，介质的介电常数也是影 响电容式传感器电容量的一个因素。通常情况下， 不同介质的介电常数各不相同。 Ø 当电容式传感器的电介质改变时，其介电常数变化， 也会引起电容量发生变化。 Ø 变介电常数式电容传感器就是通过介质的改变来实 现对被测量的检测，并通过传感器的电容量的变化 反映出来。它通常可以分为柱式和平板式两种，如 图所示。 （a）柱式 （b）平板式