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双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算 涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵，具有构造简单，真空度高，振动噪声低，可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点，如抽速较低，初始抽气时泵的工作状态不稳定，加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路，给出了泵主要构造及抽气性能参数的设计计算。此设计提高了泵的抽速，解决了泵初始抽气时状态不稳定等问题，减小了对涡旋齿的强度要求，增大了涡旋盘抽气的有效利用面积。  干式真空泵作为核心装备广泛应用于半导体产业、太阳能电池制造、化工、制药等重要行业，其研发和生产越来越受到重视。涡旋真空泵是干式真空泵的一种，具有构造简单，真空度高，振动噪声低，可靠性高等优点，在国内外的应用非常广泛。  由于涡旋真空泵是容积式真空泵，吸气腔与排气腔不直接相连，压缩比很大，这样就会出现一个问题，当涡旋真空泵入口压力为大气压时，那么当压缩腔运动到与排气口接通前，压缩腔内的压力将非常大，这对涡旋齿的强度要求很高，并产生大量的热量。由于温度的升高，转子和泵腔将会产生一定的热变形，会影响间隙通道的尺寸，使泵的抽气性能降低。由于泵腔内压力的升高会增大泵的倾覆力矩，使泵的工作很不稳定，对泵的动平衡要求非常高。若要解决这个问题可以使泵的吸气腔与排气腔相连，即涡旋齿的终止展角与初始展角的差值不大于2P，这样可以防止泵初始抽气时的不稳定，减小了对涡