椭偏仪实验报告.docxVIP

实 验 报 告 04 级 6 系 王朝勇 P实验题目： 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率实验目的：1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理。 2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。 实验原理： 设介质层折射率分别为 n 、n 、n ,φ 为入射角,在界面 1 和界面 2 处会产生反射光和折射光的多光束干涉。 1 2 3 1 用 2 ? 表示相邻两分波的相位差,其中? = 2?dn cos? / ? ,用 r 、r 表示光线的 p 分量、s 分量在界面 1 的反射系数, 2 2 1p 1s r ? r e?i 2? 用 r 、r 表示光线的 p 分量、s 分量在界面 2 的反射系数。由多光束干涉的复振幅计算可知： E ? 1 p 2 p E 2p 2s  r ? r  e?i 2? rp 1 ? r 1 p r e ?i 2? ip 2 p (1) E ? 1s 2s E （2） rs 1 ? r 1s r e?i 2? is 2s 其中 E 和 E 分别代表入射光波电矢量的 p 分量和 s 分量，E 和 E 分别代表反射光波电矢量的p 分量和 s 分量。现将上述 ip is rp rs E 、E ip 、E 、E is rp rs 四个量写成一个量 G，即： E / E r ? r e ?i 2? r ? r e?i 2? G ???rp rs ? tg? ei? = 1 p 2 p  1s 2s (3) E / E ip is 1 ? r 1 p r e?i 2? 2 p 1 ? r 1s r e?i 2? 2s 定义 G 为反射系数比，可用 tg ? 和? 表示它的模和幅角。根据菲涅耳公式和折射公式知: ? r ? ( n cos ? ? n cos ? ) /( n cos ? ? n cos ? )......( 4 ) ? 1 p 2 1 1 2 2 1 1 2 ? r ? ( n cos ? ? n cos ? ) /( n cos ? ? n cos ? ).....( 5) ? 2 p 3 2 2 3 ? ? 3 2 2 3 ? ? ? r ? ( n cos ? n cos ) /( n cos ? n cos ).......( 6 ) 1212122? 1 s ? ? 1 ? ? 1 2 1 2 1 2 2 r ? ( n cos ? n cos ) /( n cos ? n cos 2 3 2 3 2 2 3 3 )......( 7 ) ?? 2 s ? ? ? ? 2 ? 4 dn cos / ( 8) 22? 2 2 ?? n ? 1 cos ? 1 ? n cos ? 2 ? n cos ? 2 3 .......... 3 .......... .......... .....( 9 ) G 是变量 n 、n 、n 、d、 ? 、? 的函数( ? 、? 可? 用表示)，即 ? ? tg ?1 f , ? ? arg f ，称? 和? 为椭偏参 1 2 3 1 2 3 1 数,上述方程表示两个等式方程： r ? r e ?i 2?  r ? r  e?i 2? [ tg? ei? ]的实数部分=[ 1 p 2 p 1s 2s ]的实数部分 1 ? r 1 p r e ?i 2? 1 ? r 2 p 1s r e?i 2? 2s r [ tg? ei? ]的虚数部分=[ 1 p r e ?i 2? r 2 p 1s r e?i 2? 2s  ]的虚数部分 1 ? r 1 p r e ?i 2? 1 ? r 2 p 1s r e?i 2? 2s 若能从实验测出? 和? ,原则上可以解出 n 和 d(n 、n 、 ? 、? 已知),根据公式(4)~(9),推导出? 和? 与 r  、r 、r 、r 、和 2 1 3 1 1p 1s 2p 2s δ的关系： tg? ? [  r 21 p  r 2 2p 2  2r r r1 p 2 p r  cos 2? ? 1 ? r 21s  r 2 2s  2r r 1s 2s  cos 2?  ]1/2 (10) 11 ? r 2 1 p r 2 2 p 2r r p 2 p cos 2? 2 1s r 2 2s 2 2r r 1s 2s cos 2? ? ? tg ?1 ? r (1 ? r 2 2 p 1 p ) sin 2?  tg ?1 ? r (1? r 2 2s 1s )sin 2?  (11) r (1 ? r 2 1 p 2 p )