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超精密加工、纳米加工和微细加工技术概述;一、制造、机械制造和先进制造技术;二、超精密加工、纳米加工和微细加工的概念 认识和改造自然的尺度和加工精度 光年 km m mm μm nm pm 103m 10-3m 10-6m 10-9m 10-12m 尺度： 一般机械 微机械 宇宙尺度 地球尺度 机械尺度 分子尺度 原子尺度 宇观 宏观 微观 精度： 一般 精密 超精密 纳米 超精密加工：是指加工精度高于0.1μm，表面粗糙度小于0.025μm的加工技术。 获得亚微米及加工精度的加工技术。（亚微米级加工） 加工精度超越现行精度标准的加工技术。;纳米技术：是指纳米级的材料、设计、制造、测量、控制和 产品技术。 用单个原子、分子制造物资的技术。 人类能用操纵迁移原子的方式来构造物质结构，这意 味着人类将能够在分子和原子的尺度上进行制造活动。 纳米技术的发展和应用，使得加工技术向两个方向发展： 纳米加工：是指加工精度高于0.01μm的加工技术。 ——在加工精度上向精度极限发展。 微细加工：是制造尺度在微米及以下级的超微小零件的 加工技术。 ——加工尺度向超微小发展。;三、超精密加工和微细加工的应用超精密加工的应用;微细加工及微机械的应用 微细加工用于微机械及微结构件的加工，目前，运用微细加工开发的最主要的微机械或微结构有： 微齿轮，微曲轴、微桥、微梁、微连杆、微弹簧等微结构零件， 微传感器、微致动器（电机）、微泵、微陀螺、微机器人等微机械。 日本已运用微部件组装成只有米粒大小的汽车。 德国制成了黄蜂大小的直升机。 ;四、超精密加工技术;1.4.2 离子束加工 在真空中将离子源产生的离子加速、聚焦，使之撞击工件表面，由于离子带正电荷且质量比电子大数千万倍，加速以后可以获得更大的动能，因而靠微观的机械撞击能量进行加工。 1.4.3 激光束加工 由激光发生器将高能量密度的激光进一步聚焦后照射到工件表面，光能被吸收瞬时转化为热能，使材料融化、汽化，并被真空抽走。 1.4.4 微细电火花加工 在绝缘的工作液中，通过工具电极和工件间脉冲火花放电产生的瞬时局部高温来融化和汽化除去金属。通过精密控制单个脉冲放电能量和精密微量进给，就可实现极微细的金属材料的除去。 1.4.5 微细电解加工 导电工作液中，水被离解为氢离子和氢氧根离子，工件为阳极，，其表面的金属原子成为金属正离子融入电解液，被电解下来。且与氢氧根离子发生反应形成金属氢氧化物沉淀。超声只要精细地控制电流密度和电解部位，就可实现超精密加工。 1.4.6 复合加工 采用几种不同能量形式、不同工艺方法，互相取长补短、以复合作用进行加工。电解研磨、超声电解加工、超声电解研磨、电火花加工等等。 ;2. 超精密加工关键技术 2.1 超精密机床技术 对超精密机床的要求： 高精度：几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率。 高刚度：静刚度、动刚度、接触刚度、工艺系统刚度 高稳定性：长时间保持精度，抗干扰，工作稳定。耐磨性、抗振性、无热变形 高自动化： 2.1.1 高刚度结构技术 ;2.1.2 精密主轴技术 高精密空气静压轴承主轴 回转精度目前达0.03μm 高精度液体静压轴承主轴 2.1.3 精密直线导轨 高精密空气静压导轨 高精度液体静压导轨 ;2.1.4精密进给转动技术 高精密滚珠丝杠（C0级） 液体静压丝杠 气体静压丝杠 摩擦驱动 ;2.1.5 微进给技术 通常用压电陶瓷或磁致伸缩元件作为驱动，采用精密的闭环控制，利用结构的弹性变形来实现微量进给的。 2.2 精密刀具技术 刀具材料：金刚石、CBN 刀具超精密刃磨：切削厚度10nm， 要求刀具刃口纯半径为2nm。 砂轮的超微细磨料及致密成型 砂轮的精密修整。;2.3 被加