光刻机操作手册.docxVIP

前准备 更换手套 记录表上签字 电源启动 开启总电源，气体，真空。打开N2气。 打开曝光照射器（CIC1200） 打开持续光强控制器（CIC）. 显示软件启动 CIC执行自我校准检验，显示ready 按下CP（恒定电源）键，显示wait，接着按下Start。 启动设备 顺时针打开前控制面板POWER SWITCH ELECTRONIC 到ON位置，设备初始化。屏幕显示信息：“Ready for Start – press LOAD Button MA6-[M] V 4.000 22.07.02 SW:P” 点击闪烁的LOAD 按键， “Watch out machine is starting!” 软件装载，设备初始化，准备操作： “Ready for Load” 第一次光刻模式 第一次不用对准，通过EXPOSURE按键开始。 设置参数： 选择曝光模式：SELECT PROGRAM按键 切换menu，通过重新按下SELECT PROGRAM按键确定你的曝光模式。 编辑参数：EDIT PARAMETER 按键 按下EDIT PARAMETER 按键，编辑参数。 改变所有必要的数值，通过重按EDIT PARAMETER按键确认。 保存设置：EDIT PROGRAM 按键 此功能可以为以后保存参数设置。用X-ARROW按键切换到“SAVE Pgm.”用Y-ARROW选择程序号码。先前