原创力文档顺大半导体进展太阳能用硅单晶片生产技术
目 录
一、硅片生产工艺中使用的主要原辅材料 1、拉制单晶用的原辅材料，设备和部件：
2、供硅片生产用的原辅材料，设备和部件： 二、硅片生产工艺技术
1、硅单晶生产部
〔1〕、腐蚀清洗工序生产工艺技术对处理后原材料质量要求
、腐蚀清洗生产工艺流程
① 多晶硅块料，复拉料和头，尾料处理工艺流程
② 边皮料酸碱清洗处理工艺流程
③ 埚底料酸清洗处理工艺流程
④ 废片的清洗处理工艺流程
、硅单晶生长工艺技术
、单晶生长中的必备条件和要求
① 单晶炉
② 配料与掺杂
，单晶生长工艺参数选择
、质量目标：
、硅单晶生长工艺流程
2、硅片生产部
〔1〕、硅片加工生产
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