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化学品供应系统简介会计学第1页/共22页课 程 大 纲系统之目的化学品之种类与用途系统之基本要求化学品供应质量要求系统之流程图CDU之流程图TEE-BOX之构造VMB之构造SAMPLING BOX之构造系统设备之材料要求运转操作注意事项第2页/共22页系统之目的供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案供应高纯度化学品以显影芯片图案供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物供应高纯度化学品以研磨芯片供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件第3页/共22页化学品之种类与用途(一)酸性:腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4...毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...碱性:NH4OH,KOH,Developer...有机溶剂易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液...腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS...氧化性:HNO3,H2O2...第4页/共22页化学品之种类与用途(二)第5页/共22页系统之基本要求操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品 兼容微粒子控制：过滤器循环过滤满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、 H3PO4自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子含量 取样分析泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)系统诊断