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- 2022-07-26 发布于北京
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广州粤芯半导体技术
12 英寸集成电路生产线项目
AMC 控制方案
第一章、AMC 污染源
1.洁净室内再循环空气
在洁净室 ，污染源包括洁净室内装修材料（包括墙板、地板、密封胶等填充
材料、高效过滤器等）、生产设备、操作工人以及工艺化学品及溶剂在加工过程中
或堆放区域的散射或化学 或偶然的逸出。还包括各制造区域之间的交叉反应引
起的污染。
2．外界空气
通常空气中所含的污染物包括
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