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泓域咨询/机械设备产业园项目投资价值分析报告
目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 项目背景、必要性 8
一、 高密度等离子体刻蚀 8
二、 反应离子刻蚀 9
三、 离子束刻蚀 9
四、 加快发展现代产业体系，全面建设国家重要先进制造业中心 10
五、 项目实施的必要性 12
第二章 行业发展分析 13
一、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 13
二、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 16
第三章 项目概况 18
一、 项目名称及建设性质 18
二、 项目承办单位 18
三、 项目定位及建设理由 19
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