表 危险化学品重大危险源辨识(京东方).pdfVIP

危险化学品重大危险源辨识 物质名称 主要分布 储存容器 最大储存量 临界量（t) 磷化氢 0.005 1 1%磷化氢/氢气 特气车间、PECVD 钢瓶 氢 0.495 5 氨 特气车间、PECVD ISO 车 16 10 氯 特气车间、干法刻蚀 钢瓶 5 5 三氟化氮 特气车间、PECVD ISO 车/钢瓶 8 200 硅烷 特气车间、PECVD ISO 车 8 10 丙酮 玻璃瓶 7.742 500 化学品库（丙酮及醇类 异丙醇 库）、陈列车间、彩膜、 玻璃瓶 7.9 1000 成盒车间、模块车间 乙醇 玻璃瓶 7.9 500 化学品库、化学品车 乙酸 罐 10.08 5000 间、湿法刻蚀 AZ BDS-2500 光刻胶 化学品库、陈列车间 桶 22.42 5000 DSP-B11 光刻胶 化学品库、陈列车间 桶 19.22 5000 KB4X04-01D 光刻胶 化学品库、彩膜车间 桶 8.12 5000 光刻胶（丙二单甲基 醚醋酸酯+二甘醇二 化学品库、彩膜车间 桶 8.12 5000 甲醚+偏苯三酸酐） 光刻胶（二乙二醇二 甲醚+丙烯酸酯单体+ 乙酸正丁酯+丙烯酸 化学品库、彩膜车间 桶 8.65 5000 树脂+光引发剂+偶联 剂） 稀释剂（丙二醇甲醚 化学品库、陈列车间、 桶 23.18 5000 醋酸酯) 彩膜车间 VOC 焚烧装置、CVD 天然气 管道 0.47 50 尾气处理、备餐间 氢气 PECVD 管道 0.001144 5 氧气 溅射 管道 0.13728 200 注：天然气660Nm³/h 、氢气13Nm³/h 、氧气96Nm³/h 无储存设施，管道存量按1h 计算。