第8章压电式传感器.pptVIP

压电传感器的预载： （1）消除低压力使用中的非线性； （2）消除传感器内外接触表面的间隙，提高刚度。 （3）只有在加预载后,才能用压电传感器测量拉力和拉、压交变力及剪力和扭矩。 * * 第30页，共77页，编辑于2022年，星期日 5.2 压电式传感器测量电路 一、压电式传感器的等效电路 由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时，它也是一个电容器， 晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质， 则其电容量为 * * 第31页，共77页，编辑于2022年，星期日 （a） 电压源 （b） 电荷源 压电元件的等效电路 * * 第32页，共77页，编辑于2022年，星期日 电压等效电路：压电传感器可以等效为一个与电容相串联的电压源。 电荷等效电路：压电传感器也可以等效为一个与电容相并联的电荷源。 * * 第33页，共77页，编辑于2022年，星期日 输出端电压: 电压灵敏度: 输出端电荷: 电荷灵敏度: * * 第34页，共77页，编辑于2022年，星期日 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻Ri ，输入电容Ci以及压电传感器的等效电容Ca，绝缘电阻Ra。这样，压电传感器在测量系统中的实际等效电路如图所示。 * * 第35页，共77页，编辑于2022年，星期日 （a） 电压源 （b） 电荷源 压电传感器的实际等效电路 * * 第36页，共77页，编辑于2022年，星期日 由于压电效应产生的电荷量很小，达到ｐＡ级电流。因此测量电路要求: 前置放大器不仅有足够的放大倍数; 而且, 还需要有极高的输入阻抗. 二、测 量 电 路： * * 第37页，共77页，编辑于2022年，星期日 二、测量电路：电压放大器和电荷放大器。 1.电压放大器 电阻R=RaRi/(Ra+Ri)，电容C=Cc+Ci，而ua=q/Ca，若压电元件受正弦力 f = Fm sinωt 的作用，则其电压为 式中，Um——压电元件输出电压幅值，Um=dFm/Ca； d——压电系数。 * * 第38页，共77页，编辑于2022年，星期日 （a）放大器电路 （b）等效电路 电压放大器电路原理及其等效电路图 －A －A Ca Ca Ra Ri Ci Cc C R Ui USC USC Ua (a) (b) Ua * * 第39页，共77页，编辑于2022年，星期日 由此可得放大器输入端电压Ui，其复数形式为 . Ui的幅值Uim为 . 输入电压和作用力之间相位差为 * * 第40页，共77页，编辑于2022年，星期日 在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即ω(Ca+Cc+Ci)R1，那么由式可知，理想情况下输入电压幅值Uim为 式中，Cc为连接电缆电容。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换，否则将影响灵敏度，引入测量误差。 * * 第41页，共77页，编辑于2022年，星期日 * * 第42页，共77页，编辑于2022年，星期日 ①w t=0 时，即作用在压电传感器上的力是静态力时，前置放大器的输入电压为0。这是因为实际上放大器的输入阻抗不可能为无穷大，而压电传感器也不能绝对绝缘，因此产生的电荷就会通过放大器的输入电阻和传感器本身的泄露电阻漏掉。这就从原理上说明了压电式传感器不能测量静态物理量。 ②当w t=3 时，可以近似看作放大器的输入电压与作用力的频率无关。在时间常数 一定的条件下，被测物理量的变化频率越高，则放大器的输入电压越接近理想情况。说明压电传感器具有良好的高频响应特性。 * * 第43页，共77页，编辑于2022年，星期日 2. 电荷放大器(常用) 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。由于运算放大器输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，故可略去Ra和Ri并联电阻。 电荷放大器等效电路 * * 第44页，共77页，编辑于2022年，星期日 由运算放大器基本特性（密勒电容：将Cf等效到A0 的输入端），可求出电荷放大器的输出电压 通常A=104~108, Cf=100pF, Ca=100pF。 当满足(1+A)CfCa+Cc+Ci时，可表示为 由式可见，电荷放大器的输出电压uo只取决于输入电荷与反馈电容Cf，与电缆电容Cc无关，且与q成正比，这是电荷放大器的最大特点。 * * 第45页，共77