扫描电子显微镜sem和能谱分析技术eds.pptxVIP

主 要 内 容;1 扫描电镜的作用：;2 扫描电镜的工作原理; 样品表面激发的电子信号;二次电子、背散射电子和特征X射线;背反射电子：产生范围在100nm-1μm深度 能量较高，小于和等于入射电子能量E0;3扫描电镜的主要构造;收集二次电子时，为了提高收集有效立体角，常在收集器前端栅网上加上+250V偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就提高了收集效率。 收集背散射电子时，背散射电子仍沿出射直线方向运动，收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。;4 扫描电镜对样品的作用－－ 加速电压、电子束与样品之间的关系; 4 扫描电镜对样品的作用－－ 二次电子与背散射电子之间的区别; 二次电子图像 VS.;4 扫描电镜对样品的作用－－ 物镜光栏、工作距离与样品之间的关系;工作距离的影响;5 能谱仪（EDS）的工作原理;6 能谱仪（EDS）的结构;优点1）快速并且可以同时探测不同能量的X-光能谱2）接受信号的角度大。3）仪器设计较为简单4）操作简单;8 仪器功能介绍及应用 ;SEM/EDS的主要性能指标 ;JEO