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对于大型设备如冷冻机、锅炉、空调器等（尤其是进口设备）在单机试车时最好有生产厂家的调试人员现场指导或由生产厂家负责试车，待运转正常后再移交给使用单位。单机试车为联动调试做好各个单体设备的准备工作。 5.1.10.3 联动调试 联动调试一般情况下分为两个阶段进行，即风量分配阶段和联动调试阶段。 一、风量分配 风量分配即将各个洁净室的送风量、回风量、新风量、排风量全部按设计要求调整到设计风量。因为一个洁净厂房可能有多个空调送风系统和排风系统，或一个空调送风系统要负担多个洁净室的送风。因此，风量分配调试工作是一项工作量大、时间长、耐心细致的工作。风量分配调试工作也是整个调试工作的重点工作。常用的风量分配调试方法采用标准风口法。 标准风口法：一个洁净室可能有几个、几十个空调送风口、回风口。因为它们之间都是相通的，当调整某一个风口送风的风量时其他送风口的风量也会跟其变化。因此，采用标准风口法。 所谓标准风口法，就是在风量分配之前，将所有阀门都开到最大的情况下，在所有的送风口这中找到最不利的送风口（送风量最小的送风口），将此风口作为标准风口。在标准风口上设一监测仪表，随时测试标准风口的风量变化。然后调整其它所有风口风量。因为调整任何一个风口风量时，都会影响已调整过的风口的风量的变化；因此，在调整任何一个风口风量时，都要以标准风口当时风量为参照风量，使所有被调风口的风量均随标准风口的风量变化而同步变化。 当一个净化空调系统负责多个洁净室空调时，调试要以洁净室为单位由末端向总干管方向进行，对各洁净室首先调整其送风量的相对关系量，然后，再用系统的总阀门来将每个送风口，每个洁净室的送风量都调整为真实的设计送风量。 二、联动调试 联动调试在风量调整和单机试车后进行。联动调试就将净化空调系统和为净化空调系统服务的所有系统即：供冷系统（冷冻机、冷却塔、水泵以及供冷系统上所有的配件）、供热系统（锅炉、水泵以及供热系统上所有配件）、供电系统（配电箱、变频器……）和自动控制系统全部投入运行，考核各系统的综合性能和联动性能。必要时，在洁净室内人为的设置一定量的负荷，考核温、湿度探头、中间仪表和执行机构的联动是否敏感、协调；考核温、湿度探头是否准确，精度是否合格。 三、洁净室的性能测试和综合评价 在风量调整和联动调试的基础上，洁净室空调净化系统以及为其服务的所有系统，均处于正常运行状态。接着进行洁净室的性能测试和综合评价。 1、洁净室的性能测试： 洁净室性能测试内容包括： 洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试（单向流洁净室 ）温度、相对湿度测试、噪声测试等。 ① 洁净度测试：采样点布置在工作面上（0.8~1.0m），采样点数量N=A1/2（A是洁净室面积‘m2’）。尘埃粒子计数器的采样量要大于1升/分；每个采样点连续有效采样三次。取其平均值做该点的测量值。全部测点的测量值的平均值作为洁净室的洁净度。 ② 风量或风速测试：单向流洁室测量断面风速、非单向流洁净室测其风量。 断面风速的测量：距吊顶上送风高效过滤器（HEPA）300mm处布置测点，测点间距为600 mm，用热球风速仪测其各点风速。 风量测试：在送风管或送风口上测送风风量。方法是用比托管和微压差计，测风管内各点的动压，测点间距为100mm。再计算送风量。 5.1.10.4 洁净室的性能测试和综合评价 在风量调整和联动调试的基础上，洁净室空调净化系统以及为其服务的所有系统，均处于正常运行状态。接着进行洁净室的性能测试和综合评价。 一、洁净室的性能测试 洁净室性能测试内容包括： 洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试（单向流洁净室 ）温度、相对湿度测试、噪声测试等。 二、洁净室的综合评价 在对洁净室性能测试的基础上，根据对洁净室洁净度、温、湿度、正压、风量、噪声等测试结果，对洁净室的建设和性能进行竣工验收的综合评价 5.2 三个净化工程的典型案例 5.2.1 大面积ISO 6级顶送顶回非单向流洁净室工程案例 一、工程概述 深圳赛意法集成电路有限公司封装工序洁净厂房是我国第一个大面积1000级4300m2的顶送顶回的气流流型洁净厂房的成功实例。 同时它还是：国内个别学术权威所说的顶送顶回气流流型是不会做净化空调的人设计的工程实例。 信息产业部第十一设计院设计大师王唯国?推荐十一院净化空调设计人员，要认真学习赛意法设计的精髓和大手笔创造工程实例。 赛意法外方总裁称深圳赛意法的封装厂方是他们跨国公司最优秀的后工序封装厂房。 也是在连续运行二年后动态测试洁净度400个/ft3，产品成品率高达99%的后工序净化厂房。 赛意法公司的第二期工程（十院设计）和第三期（十一院设计）完全套用了第一期工程的顶送顶回的气流流型。 1．工艺要求的各种参数： 参数\状态 1995年设计时 工艺要求的