CMP化学机械平坦化.pptVIP

* * Chemical Mechanical Planarization Agenda PAGE * 1，平坦化有关的术语； 3，化学机械平坦化机理； 2，传统的平坦化技术； 5，化学机械平坦化应用。 4，化学机械平坦化终点检测； 平坦化术语 PAGE * Surface smoothing Local planarization Global planarization Unplanarized SiO2 衬底 Min Max SHpre Min Max SHpost 抛磨后测量 抛磨前测量 SiO2 平坦化术语 PAGE * 平整度： 单层金属IC的表面起伏剖面 PAGE * p+ 硅衬底 p– 外延层 场氧化层 n+ n+ p+ p+ n-阱 ILD 氧化硅 垫氧 氧化硅 Metal 氮化硅 顶层 栅氧化层 侧墙氧化层 金属化前氧化层 Poly Metal Poly Metal 多层金属化结构剖面 PAGE * 非平坦化的IC剖面 平坦化的IC剖面 传统的平坦化技术 PAGE * SiO2 反刻后的形貌 光刻胶或SOG SiO2 平坦化的材料 不希望的起伏 反刻 传统的平坦化技术 PAGE * 玻璃回流 BPSG 回流的平滑效果 BPSG 淀积的层间介质 传统的平坦化技术 PAGE * 旋涂膜层 ILD-1 ILD