一种小微气体流量发生器的研制.pdfVIP

山东省计量院 目 录 一、小微气体流量的定义 二、气体流量标准装置 1 、常见气体流量标准装置 2 、活塞式气体流量标准装置 三、小微气体流量发生器 （标准装置） 1. 装置结构 2 、工作原理 3 、工作步骤 4 、设计解析 5 、总结 、小微气体流量的定义 通常，流量小于1L/min的为小流量， 流量小于10mL/min的为微小流量。 、气体流量标准装置 1 、常见气体流量标准装置 100L,30L 3 3 27m ,2m 3