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宋停云与您分享 宋停云与您分享 真空的获得 在真空实用技术中，真空的获得和测量是两个最重要的方面，在一个真空系统中，真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。目前常用的真空获得设备主要有旋片式机械真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、低温泵等。真空测量仪器主要有 U 型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展， 各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。各种真空测量设备与微型计算机相结合，具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。低真空的应用主要涉及真空疏松、真空过滤、真空成型、真空装卸、真空干燥及震动浓缩等，在纺织、粮食加工、矿ft、铸造、医药等部门有着广泛的应用。 实验目的 1、 学会用机械泵获得低真空 2、 观测不同真空度时辉光放电现象 3、 用 U 型计和热偶计测量真空。实验仪器 计算机仿真软件实验原理 1. 真空技术的基本概念 (1)真空：低于一个大气压的气体状态。 1643 年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验，获得真空。自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇宙空间。 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。 (2)真空量度单位： 1 标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1 标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa (3)真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空 105—103 Pa 低真空 103—10-1 Pa 高真空 10-1—10-6 Pa 超高真空 10-6—10-10 Pa 极高真空 10-10 Pa 2.真空获得—真空泵 1654 年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名的马德堡半球试验。原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。 真空泵的分类 气体传输泵是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵，例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。 气体捕集泵是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵，例如分子筛吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。 真空泵的主要参数 (1) 宋停云与您分享 宋停云与您分享 S（抽气速率）：定义为在泵的进气口任意给定压强下，单位时间内流入泵内的气体体积 或表示为： 其中，Q 为单位时间内流入泵的气体量。泵的抽气速率S 并不是常数，随 P 而变。 极限压强 Pu (极限真空) 最高工作压强 Pm 工作压强范围（Pu-Pm）：泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 105—10-2 Pa 吸 附 泵 105—10-2 Pa 扩 散 泵 100—10-5 Pa 涡轮分子泵 101—10-8Pa 溅射离子泵 100—10-10Pa 低 温 泵 10-1—10-11Pa 几种常用真空泵的工作原理 旋片机械泵 工作过程是：吸气—压缩—排气。定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。主要参量是：抽速和极限压强。由于极限压强较高，常用做前级泵(预抽泵)。 油扩散泵 工作原理是：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 由于射流具有工作过程高流速(约 200 米/秒)、高密度、高分子量 (300—500)，故能有效地带走气体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大 40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。 宋停云与您分享 宋停云与您分享 3. 真空测量 (1)U 型压力计 水银 U 型压力计构造简单，无需校准，可以在气压不太低时使用。一般压力计一段封闭，另一端接入真空系统，封闭端为真空，这样压力计可直接指示总压力，两边水银柱的高 度差即为总压力。对于精密工作则需进行温度修正。对于压力较低（低于 Pa）的测量， 油压力计比水银压力计更精确，因为油的密度低得多。绝对压力由下式给出 式中 h 是油压力计的读数。 (2).高频电火花真空测定仪（又叫检漏仪） 高频电火花真空测定仪（又叫检漏仪）是一种粗略测量玻璃真空系统的仪器，原理图如图所示。接通电源后，调节放电火花间隙G，当产生击穿放电时，将高 频放电探头在被抽容器处不停的移动。随着压强的变化，系统内放电辉光的颜色不断变化，从放电颜色可粗略地估计真空系统的气压。 随着真空度的提高，容器内的剩余气体分子逐渐减少, 由于机械泵对各种气体的抽气速率不同，残余气体中各种气体成分的比例随着气压的降低而变化。当对玻璃容器加一高压时， 容器中的游离电子（宇宙射线产生）被加速与气体分子碰撞，当电子的能量足够大时，使气 体分子电离，电离产生的次级电子再被电场加速与气体分子碰撞，再使气体分子电离，正负 离子复合过程会有光子释放，即产生辉光放电，辉光放电是气体电离的基本形式之一，它反 映了容器内气体的电离和复合过程