纳米β-Ga2O3在不同氧环境的表面形貌研究.docx

纳米材料由于量子尺寸效应和不同的表面形貌，具有独特的材料性质，如较高的热稳定性和化学稳定性，良好的光学透明性和较高的击穿电场，在纳米尺寸传感器[1]、光学纳米器件[2]等方面具有广泛的应用。 氧化镓(Ga2O3)作为宽禁带半导体材料[3]，具有较高的击穿电场，稳定的物理化学性质以及强抗辐射能力，可应用于高温气体传感器[4]、导电氧化物光电子器件[5]和太阳盲型光电探测器[6]等方面。在所有宽带隙材料中，具有单斜结构的β-Ga2O3拥有化学和物理稳定性，同时拥有较大的带隙而被认为是很有前途的候选材料。它也适用于极端环境应用，如高温、强辐射和腐蚀性环境。近几年来，2英寸的高质量Ga2O3单晶成功制