机电一体化技术论文-基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿.docVIP

毕 业 设 计 论 文 题 目：基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿 XX学院毕业设计论文 XX学院毕业设计论文 PAGE 20 摘 要 激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器,其主要测量功能在于线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用,随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别是在测量数控机床位置精度方面得到了广泛的应用。数控机床位置精度,就是指一台机床的刀尖所能够达到控制系统程序设定的目标位置的能力,也是用户最为关注的技术指标及所能够满足加工精度的需求。 本论文以研究基于激光干涉仪的数控机床的定位精度检测与误差补偿为主要内容，首先分析了国内外对数控机床精度检测的指标，测量方法及数据处理方法，首先以激光干涉仪的结构和工作原理为基础,结合激光干涉仪测量误差的原理,建立误差测量的模型,通过激光干涉仪自带的误差补偿系统对数控机床的误差进行误差补偿,这种方法可以使数控机床的定位精度大幅度提高。 关键词：激光干涉仪；数控机床；精度检测 XX学院毕业设计论文 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 摘 要 I 目 录 II 绪论 1 第一章 激光干涉仪工作原理 5 第二章 激光干涉仪组成及安装 7 2.1激光干涉仪的组成 7 2.1.1激光头 7 2.1.2三脚架、云台 7 2.1.3 XC环境补偿装置 8 2.1.4 线性测量镜组 8 2.1.5 光学镜安装组件 8 2.2激光干涉仪的安装 9 2.2.1 三脚架的安装 9 2.2.2 XL-60激光头的安装、调整 9 2.2.3 预热激光头 9 2.2.4 安装补偿单元 9 2.2.5安装光学镜组件 10 2.2.6 找正光源 10 2.2.7数据测量、采集、分析、输出 11 2.3激光干涉仪安全操作规程 11 第三章 机床精度检测及螺距误差补偿 12 3.1 螺距误差补偿 12 3.2机床精度检验 12 3.3 编写被侧轴移动程序 16 3.4 采集分析数据 17 结 论 29 参 考 文 献 31 致 谢 32 XX学院毕业设计论文 PAGE 7 绪论 由于目前加工技术的迅速发展和零件加工精度的不断提高，对数控机床精度提出了更高的要求，基于上述思想，利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差的测量，数控机床进行单轴精度补偿，使机床的定位精度得到显著提高。 机床精度是影响被加工工件尺寸精度的一个直接原因，提高工件加工精度，首先要提高机床精度，影响数控机床的主要因素为机床零部件和结构的几何误差，工件的最终加工精度是由机床刀具与工件之间的相对位移误差决定的。定位精度是指数控工作台部件在要求的终点所达到的实际位置的精度，实际位置与理想位置之间的误差为定位误差。它包括伺服系统，检测系统，工作台进给系统的误差和工作台导轨的几何误差，它影响加工零件的位置精度。数控机床的定位精度是评定机床性能的一项重要指标。 常用的机床误差测量方法有直接测量法和间接测量法,其中间接测量法,如首先用典型工件试切或试加工,然后再对所试切的工件进行精度检测。但这种方法的测量结果中包括了工艺、刀具和材料等因素在内，虽然可以通过试件的加工精度间接反映出机床的精度，但不能精确地用于指导机床的研发和改进。而直接测量法如用微位移传感器测量装夹在主轴上的圆柱形基准棒或基准球，或者对装夹在工件台面上的基准量块或平尺直接进行测量,这种方法可以直接获得某项误差,但该方法测量效率低,测量的范围(如行程)有限。??????? 目前世界各国对数控机床精度检测指标的定义、测量方法及数据处理方法等都有所不同。国际上有五种精度标准体系,分别为:德国VDI标准、日本JIS标准、国际标准ISO标准、国标GB系列、美国机床制造商协会NMTBA。其中NAS979是美国国家航空航天局在二十世纪七十年代提出的通用切削试件,NAS试件”是通过检测加工好的圆锥台试件的“面粗糖度、圆度、角度、尺寸”等精度指标来反映机床的动态加工精度。 Heidenhaim公司研制的平面正交光栅(GGET),既可以检测圆轨迹又可以检测直线轨迹或不规则的异形平面运动。Wei?Gao等用光电自准直仪检测主轴偏角的误差,用电容位移测头测出了主轴的轴向跳动误差,用直尺和电容位移测头结合检测出了导轨的直线度误差。用于直线运动轨迹检测的仪器,目前比