白光显微干涉三维形貌测量中的移相误差校正方法.docx

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2022-09-23 发布于河北
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0.?? 引　言移相干涉术是一种纳米级精度非接触式形貌测量方法。单色光移相干涉受限于2π相位模糊，无法确定条纹级次，被测件相邻采样点的高度差不能高于λ/4。白光显微干涉术利用白光的低相干特性，通过垂直扫描零光程差定位，有效地解决了2π相位模糊问题，可在长程范围内实现阶跃型结构的表面微观三维形貌测量[1]。白光可以看作被光谱分布调制的多个单色光的叠加，其相干长度短，为μm量级。仅当测试光与参考光的光程差达到相干长度以内时才能产生对比度良好的干涉条纹，当两束光的光程差为零时，干涉条纹对比度最佳。白光显微干涉仪检测微结构三维形貌时，干涉显微物镜被移相器驱动以等步长完成垂直扫描，探测器采集相应的干