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RENA 保养介绍;设备保养的目的;保养内容;保养内容;清洁碱槽风刀吹气孔 ;作业步骤;清除机器表面及盖板上附着的污物;作业步骤;检查所有槽滚轮和齿轮箱的运行情况;作业步骤;清洁上下料台硅片的传送皮带和上下料台的保养; 开启上下料台相应的电机
用蘸有酒精的无尘纸擦拭所有传送皮带上的污物
更换磨损严重的皮带,紧固螺丝,润滑活动部件;更换过滤芯;作业步骤;清洁各个槽体中的碎片;冷冻机更换乙二醇;;等待加入自来水,直至界面中的Error状态变为Re???dy状态,此时更换乙二醇的工作完成。;其它(季保);其它(年保);谢 谢
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