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USTC ABCD Lab 介质阻挡放电 第1页，共37页，编辑于2022年，星期一 等离子体的分类 2、按等离子体所处的状态：（1）平衡等离子体：气体压力较高，电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。 （2）非平衡等离子体：低气压下或常压下，电子温度远远大于气体温度的等离子体。如低气压下 DC辉光放电和高频感应辉光放电，大气压下DBD介质阻挡放电等产生的冷等离子体。 * 第2页，共37页，编辑于2022年，星期一 低温等离子体的发生技术 直流辉光放电 低频放电等离子体 高频放电等离子体 非平衡大气压等离子体放电 介质阻挡放电 * 第3页，共37页，编辑于2022年，星期一 介质阻挡放电 介质阻挡放电是有绝缘介质插入放电空间的一种气体放电。介质可以覆盖在电极上或悬挂在放电空间。这样当在放电电极上施加足够高的交流电压时，电极间的气体即使在很高的气压下，也会被击穿而形成所谓的介质阻挡放电。 这种放电看似均匀稳定，但实际上它有大量细致的快脉冲放电通道,通常放电空间的气体压强为104Pa- 105Pa或更高。 * 第4页，共37页，编辑于2022年，星期一 介质阻挡放电的电极结构 * 第5页，共37页，编辑于2022年，星期一 在大气压下（105Pa），这种气体放电呈现微通道的放电结构，即通过放电间隙的电流由大量快脉冲电流细丝构