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介电材料及其测量 第1页，共25页，编辑于2022年，星期一 摘要 介电材料的研究背景 介电材料的介电性能 介电材料的电化学测量 以后要做的工作 第2页，共25页，编辑于2022年，星期一 制备介电材料的相关背景 介电材料又称电介质，是电的绝缘材料。主要用于制造电容器。要求材料的电阻率高，介电常量大。高介电材料是指介电常数是大于二氧化硅(k = 3.9 )的介电材料的泛称. 概念 材料的电介质基本特征 介电陶瓷制成的电路元器件 是以感应而并非传导的方式传递电的作用和影响。电介质中束缚着的电荷，在电的作用下以正负电荷重心不重合的电极化方式传递和记录电的作用和影响。 第3页，共25页，编辑于2022年，星期一 为什么选择高介电常数陶瓷作为电路元器件？ 日益增长的信息技术对更高集成度，高速，低功耗集成电电路的需求使晶体管的尺寸迅速减小。 在动态随机存储器中，二进制的数字信息是以电容器所储存的电荷来表示的，所以在集成度更高的情况下要保持足够的电容。电容公式如下,通过增加栅极表面积和降低栅介质厚度均可提高栅极电容。而芯片上晶体管的数目跳跃式增加 ,这就对增加栅极表面积产生了极大的制约。因此在以往半导体技术的发展过程中 ,降低栅介质 的厚度与采用高k的陶瓷就变成推进器件性能提高的首要手段。 C=εS/d 第4页，共25页，编