安全操作规程.docx

安 全操作规程 南通富士通微电子股份 减薄工序安 全操作 规程 一、 工作 前操作者 必需首 先检查电 气开关 ，设备把握 系统是否 正常。开 机后 如觉察有 特别情 况，应马上报 告有关人 员，进展检查 、修理， 严禁设 备带病运 转。 二、 设备 主电源接 通后，不得 翻开设 备的高压 电源及 把握线路 板 局部 的防护盖 。 三、 工作 时必需把 设备前 的防护罩 拉下，并经 常检查 紧急停机 开关功 能是否处 于正常 状态。 四、 上机 操作或调 整时，磨 头拉 向工作位 置时，要 缓慢 移动，避 免磨 头与真空 吸盘相 撞。 五、 真空 泵开机前 务必先 开水源，在保 证冷却液 正