光栅传感器PPT课件.pptxVIP

4.5 光栅传感器; 光栅是在一块长条型（圆形）光学玻璃（或金 属）上均匀刻上许多宽度相等的刻线，形成透光与 不透光相间排列的光电器件。 栅线——光栅上的刻线，宽度a 缝隙宽度b 栅距w=a+b（也称光栅常数）;按原理和用途：物理光栅和计量光栅 物理光栅：刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波长等量的测量。 计量光栅：主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。;按应用类型：长光栅和圆光栅;构成：主光栅 --- 标尺光栅，定光栅；指示光栅 --- 动光栅; 圆光栅：在圆盘玻璃上刻线，用来测量角度或角位移.;栅距;圆光栅分类： 根据栅线刻划的方向，圆光栅分三种： 径向光栅: 其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心； 切向光栅: 其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点儿或几个毫米的小圆相切; 环形光栅: 一簇等间距同心圆组成. 若按光线的走向，圆光栅只有透射光栅。;按栅线形式：黑白光栅和闪耀光栅 黑白光栅：利用照相复制工艺加工而成,其栅线 与缝隙为黑白相间结构； 相位光栅：横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工 而成。;4.5.1 光栅传感器的结构; 主光栅和指示光栅之间的距离d可根据光栅的栅距来选择。主光栅和指示光栅在平行光的照射下，形成莫尔条纹。主光栅的精度决定了整个