混合抗蚀剂法制备纳米球型SERS基底.docx

摘要 报道了一种利用混合抗蚀剂的一步电子束曝光制备表面增强拉曼散射（SERS）基底的新方法。基于氢倍半硅氧烷（HSQ）和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）电子束抗蚀剂的混合产生相分离形成纳米球体的现象，并利用合适剂量（2000 μC/cm2）电子束曝光、固化纳米球，经显影去除多余残胶后再使用电子束蒸发沉积Au薄膜，得到纳米球型SERS基底。纳米球尺寸分布均匀，相对标准偏差为7.56%，表面粗糙Au层及球之间的间隙能够提供丰富SERS“热点”，从而使其表现出良好的拉曼增强效应。该SERS基底对多种目标物均能表现出良好的检测性能。对4-巯基苯硼酸（4-MPBA）检测的SERS增强因子为5.8×106，检