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- 2022-11-03 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶硅电池磷扩设备，包括壳体及由所述壳体围设成的腔室、舟托、进气部及出气部；所述舟托设置于所述腔室内部，用于放置正面贴合叠放的待处理硅片；所述出气部设置于所述壳体侧壁，用于连接外部的抽气系统，配合所述进气部实现所述腔室内气体环境更新；所述进气部沿所述壳体的内侧底部延伸设置，使气体从底部向上逐渐充满所述腔室。本实用新型中含磷气体不会直吹硅片正面，大大减少了磷在待处理硅片正面的扩散程度，省去了后续复杂的去绕镀工艺，提升了成品良率，同时保证单槽插双片，也即提升了生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217719631 U
(45)授权公告日 2022.11.01
(21)申请号 202221793337.9
(22)申请日 2022.07.08
(73)专利权人 正泰新能科技有限公司
地址 31
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