洁净室尘埃粒子检测规范.pdfVIP

0.5μm 5.66 2.83 2.83 2.83 5.0μm 8.5 8.5 8.5 8.5 1. 记录结果 8.1按照洁净级别考虑需测定的粒子大小，在每一个取样点测定粒子浓度并记录结果。 8.2当取样点不止一个时，那么计算并记录各粒子大小的浓度平均值。 8.3当在一个位置取两个或两个以上的样本量时，那么计算并记录各粒子大小的浓度平均值， 计算公式如下： C +C ++C 1 2 N 采样点的平均粒子浓度A=———————— N 式中： 3 A=某一采样点的平均粒子浓度，粒/m ； 3 Ci=某一采样点的粒子浓度〔i=1，2，，N〕，粒/m