辉光放电等离子体诊断.docxVIP

PAGE PAGE 5 实验名称： 辉光放电等离子体趁断 一、实验目的 了解等离子体的性质 采用 langmuir 双探针测量等离子体参数 二、实验原理： 1 、等离子体参数 a:等离子体密度：单位体积内（一般以立方厘米为单位）某带电粒子的数目。 n 表示离子浓度，n i e 表示电子密度。 b:等离子体温度：对于平衡态等离子体（高温等离子体）温度是各种粒子热运动的平均量度；对于非平衡态等离子体（低温等离子体），由于电子、离子 可以达到各自的平衡态，故要用双温模型予以描述。一般用 T i 表示离子温度， T 表示电子温度。 e c:等离子体频率：表示等离子体对电中性破坏的反应快慢，是等离子体震荡这种集体效应的频率为。 ? ? nie 2 粒子震荡频率： pi s mi 0 ? ? 电子震荡频率： pe nie 2 s mi 0 d:德拜长度：等离子体内电荷被屏蔽的半径，表示等离子体内能保持的最小尺度。当电荷正负电荷置于等离子体内部时就会在其周围形成一个异号电荷的“鞘层”。 1? k T ? 2 1 ? ? ? D e ? 4me 2 4 德拜长度 ： ? ? 2、等离子体参数的静电探针诊断原理 图 8、等离子体探针原理 图 9、单探针法 图 10、双探针法 假设： 、被测空间是电中性的等离子体空间，电子密度 n e 和离子浓度 n i 相等，电 子与离子的速度满足麦克斯韦速度分布； 、探针周围形成的空间电荷鞘层厚度比探针面积的线度小，这样可忽略边缘效应，近似认为鞘层和探针的面积相等； 、电子和正离子的平均自由程比鞘层厚度大，这样可忽略鞘层中粒子碰撞引起的弹性散射、粒子激发和电离； 、探针材料与气体不发生化学反应； 、探针表面没有热电子和次级电子的发射。则：对于插入等离子体的单探针有： ?e1?J ? 1 n U ? 4 ? 8T ? 2 ? e 1 ? 随机电流： I ? ? eJ A r S ， r 4 n ? ? m ? 根据玻耳兹曼定理： n ? n  V V ?exp( e P s ) ? 0 kT 电子密度 e 式中：V p 为探针电位，V s 为等离子体电位 en 1I ? ? 0 1 exp ? e V ? V ?? 8T ?? e ? 2 A ?PS?所以：探针电流 ? P S ? 4 kT e ?? ? m ? S ?而对于插入等离子体的双探针有： ? 设探针的面积分别为 A ,A ；电位为 V ,V ；电压 V=V V ≥0 1 2 1 2 1- 2 。 流过探针 1，2 的离子和电子电流分别为：i ， i ，i ，i 。 1?对双探针整体为悬浮的故： 1?  i ? i 1? 2? 1+ 1- 2+ 2- ? i ? 0 2? 则从 2 流入 1 的电流为： ?  ? I ? i ? i  ? ??i  i ? i ? i 2,1 2? i ? 2? i ? i 1? 1? 2? 2? 1? 1? ， ， 2 I ? V ? V ? ??i ? ? i ? ? 1? 2 1? ? ?eA 1 Jr exp e 1 S ??kT ? ? ?2?e ? 2 ? Si ? I ? i S 2 ? ?eA Jr exp? e V ? V ? 2? 2? i ? I ??1? 2 A ? ? 2 kT e ? eV ? ? I ? 1 exp? ? ?2?ei ? A kT ? 2 ? e 2??2 故： ? eV exp? kT ? ? exp?? eV ? ? ??? ? ? ? ? ?  ? eV ? I ? 2i ? ? e ? ? e ? ? 2i ? tanh? ? ? eV exp? kT ? ? exp?? eV ? ? ? ? ? ? 2kT e ? e ? ? e ? dI eI ? dV  ?I ?0,V ?0 ? ? i 2kT e 大致 I-V 函数关系曲线见下图： iT ? eI i e 由此可知：电子温度： dI 2k I0,V0dV? ? ? I 0,V 0 n ? I ? kT e i等离子体密度： m i 注： e ? 1.6 ?10?19 库，k ? 1.38 ?10?23，1eV ? 11600K 图 11、理想双探针曲线 三、实验仪器： DH2005 直流辉光等离子体实验装置 1、总电源开关 2、冷却水电源开关 3、真空泵电源开关 4、电阻真空计开关 5、高压电源开关 6、探针电源 7、高压调节旋钮 8、高真空微调阀 9、隔膜阀调节旋钮 10、工作选择开 11、电流量程选择开关 12、探针电压调节电位器(粗调) 13、探针电压调节电位器（细调）14、