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集成电路工艺作业 第一章 半导体衬底 1、列举生产半导体级硅的三个步骤，给出反应方程式。说明半导体级硅有多纯？ 2、为什么要用单晶进行硅片制造？ 3 、 CZ 单 晶 生 长 法 定 义Czochralski(CZ)－查克洛斯基法生长单晶硅，把熔化了的半导体级硅液体变为有正确晶向并且被掺杂成 n 型或 p 型的固体硅锭。85％以上的单晶硅是采用CZ 法生长出来的。 CZ 法特点： 低功率 IC 的主要原料。 占有～80％的市场。 制备